在当今精密制造与检测领域，对微小尺寸变化的精确测量需求日益增长。特别是在半导体制造、微纳加工、光学元件检测等高端应用中，对测量误差的严格要求往往达到纳米级。面对这一挑战，国内自主研发的LTC100光谱共焦位移传感器以其卓越的性能脱颖而出，不仅实现了30nm以下的测量误差，还保证了...
摘要在精密制造业中，陶瓷材料的平面度控制是确保产品质量的关键环节之一，尤其是对于直径达200mm的圆形陶瓷表面。本文旨在探讨利用光谱共焦位移传感器进行高精度平面度测量的方法，通过详细阐述测量原理、设备选择、实验设计、数据处理及误差分析，展示该技术在陶瓷圆盘表面平面度评估中的优越性...
摘要本文介绍了一种利用单点光谱共焦位移传感器结合高精度三维扫描移动平台，对晶圆表面进行全面扫描检测的方法。该方法旨在以较低的成本实现高精度表面瑕疵与加工精度的检测，特别适用于对表面质量要求极高的半导体制造行业。通过详细阐述测量原理、系统构成、操作步骤及数据分析方法，本文展示了该技...
在现代化工业生产中，确保每一个零部件的精确性是实现产品高质量、高性能的基石。特别是在电动工具领域，按钮配件的行程精度直接关系到工具的操作体验、安全性能及使用寿命。传统检测方法虽能基本满足需求，但在追求极致精度的今天，其局限性日益凸显。本文将以一次针对电动工具按钮配件行程检测的技术...
光谱共焦位移传感器是一种利用光谱干涉测量物体位移和形变的高精度测量设备。为了确保测量的准确性和稳定性，暗校准（DARK）操作的执行及其有效掌握是至关重要的。首先，我们需要明确什么时候需要进行暗校准。主要场景包括系统重新连接、环境温度变动10℃以上以及传感器图像出现异常跳动起伏等情...
表面粗糙度是描述表面微观轮廓的基本参数，对于评价产品性能至关重要。在机械加工、薄膜制备、微纳机电系统以及光学精密加工等领域，表面粗糙度是评价产品性能的重要指标之一。为了提高加工检测效率，实现尺寸形位公差与微观轮廓的同平台测量，本文提出一种基于光谱共焦位移传感器的在线集成表面粗糙度...
标题：光谱共焦位移传感器：实现非接触测量的无影响性能摘要：光谱共焦位移传感器是一种先进的测量设备，利用共焦技术和光谱分析相结合，能够实现对被测物体的非接触测量，并且不受被测物体材质、颜色、透明度、反光度等因素的影响。本文将详细介绍光谱共焦位移传感器的原理和优越性，展示它在各个领域...
在高精度的生产工序中，薄膜偏差是一项极为重要的控制指标。由于微观材料结构的敏感性，稍有偏差就可能会导致产品的细微变形，从而引发性能下降、使用寿命缩短等一系列问题。因此，对薄膜偏差的精确检测与实时调控具有至关重要的意义。对于这样的需求，光谱共焦位移传感器便能发挥出它重要的作用。通过...
由于半导体生产工艺的复杂性和精密性，对晶圆切割的技术要求极高，传统的机械切割方式已经无法满足现代电子行业的需求。在这种情况下，光谱共焦位移传感器配合激光隐切技术（激光隐形切割）在晶圆切割中发挥了重要作用。以下将详细介绍这种新型高效切割技术的应用案例及其优势。原理：利用小功率的激光...
在真空环境下应用光谱共焦位移传感器的可行性一直是一个备受关注的问题。真空环境的特殊性决定了对传感器的要求与常规环境有所不同。本篇文章将围绕真空环境下光谱共焦位移传感器的应用可行性展开讨论，并进一步深入探讨传感器在不同真空环境下的要求和变化。首先，真空环境下的应用对传感器的热产生要...