行业痛点与挑战锂电池外壳边缘涂胶工艺（槽深5mm×宽3mm）对胶体连续性、填充均匀性及边缘贴合度要求严苛，直接影响电池密封性与安全性。传统激光位移传感器因光斑发散（≥50μm）、抗遮挡能力弱，在深窄槽内易受侧壁反射干扰，导致拐弯区域信号丢失、断胶漏检率高达15%以上。此...
**摘要** 本研究以泓川科技LTC系列型光谱共焦位移传感器为核心，针对12英寸（300mm）抛光晶圆厚度检测需求，开发出全自动在线测量系统。通过波长编码解析算法与主动温控光路设计，实现0.0008μm的测量分辨率（NIST可溯源标准验证），较国际SEMI标...
光谱共焦传感器：精密测量的得力助手在当今科技飞速发展的时代，精密测量技术在众多领域发挥着关键作用，光谱共焦传感器作为其中的佼佼者，备受瞩目。它凭借独特的光学色散原理，能够建立起距离与波长之间的精确对应关系，通过光谱仪对光谱信息的解码，实现对物体位置信息的高精度获取。无论是工业制造...
摘要随着3D曲面玻璃在智能手机、平板电脑等电子产品中的广泛应用，对其弧高、平面厚度及平面度的精确测量成为保证产品质量和用户体验的关键。本文详细介绍了一种基于白光光谱共焦位移传感器的高精度测量方法，该方法结合移动扫描机构、视觉定位系统及先进的数据处理算法，实现了对3D玻璃弧高的快速...
摘要 本文针对微小筒状工件（直径4毫米，内径3毫米，深度4毫米）的深度及底部厚度测量问题，提出了一种基于光谱共焦位移传感器的双头对射测量方法。该方法有效解决了传统激光三角位移传感器因筒状结构导致的回光遮挡问题。然而，工件表面的镀膜工艺（厚度5~10微米）对测量精度提出...
在现代电子工业中，三防漆作为一种重要的防护材料，被广泛应用于PCB线路板的保护。三防漆的厚度控制直接关系到产品的性能与可靠性。然而，三防漆的厚度通常非常薄，一般在50微米到200微米之间，甚至更薄，这对测量技术提出了极高的要求。本文将详细介绍如何利用光谱共焦位移传感器实现三防漆厚...
摘要在精密制造业中，陶瓷材料的平面度控制是确保产品质量的关键环节之一，尤其是对于直径达200mm的圆形陶瓷表面。本文旨在探讨利用光谱共焦位移传感器进行高精度平面度测量的方法，通过详细阐述测量原理、设备选择、实验设计、数据处理及误差分析，展示该技术在陶瓷圆盘表面平面度评估中的优越性...
摘要本文介绍了一种利用单点光谱共焦位移传感器结合高精度三维扫描移动平台，对晶圆表面进行全面扫描检测的方法。该方法旨在以较低的成本实现高精度表面瑕疵与加工精度的检测，特别适用于对表面质量要求极高的半导体制造行业。通过详细阐述测量原理、系统构成、操作步骤及数据分析方法，本文展示了该技...
在现代化工业生产中，确保每一个零部件的精确性是实现产品高质量、高性能的基石。特别是在电动工具领域，按钮配件的行程精度直接关系到工具的操作体验、安全性能及使用寿命。传统检测方法虽能基本满足需求，但在追求极致精度的今天，其局限性日益凸显。本文将以一次针对电动工具按钮配件行程检测的技术...
表面粗糙度是描述表面微观轮廓的基本参数，对于评价产品性能至关重要。在机械加工、薄膜制备、微纳机电系统以及光学精密加工等领域，表面粗糙度是评价产品性能的重要指标之一。为了提高加工检测效率，实现尺寸形位公差与微观轮廓的同平台测量，本文提出一种基于光谱共焦位移传感器的在线集成表面粗糙度...