摘要在精密制造业中，陶瓷材料的平面度控制是确保产品质量的关键环节之一，尤其是对于直径达200mm的圆形陶瓷表面。本文旨在探讨利用光谱共焦位移传感器进行高精度平面度测量的方法，通过详细阐述测量原理、设备选择、实验设计、数据处理及误差分析，展示该技术在陶瓷圆盘表面平面度评估中的优越性...
摘要本文介绍了一种利用单点光谱共焦位移传感器结合高精度三维扫描移动平台，对晶圆表面进行全面扫描检测的方法。该方法旨在以较低的成本实现高精度表面瑕疵与加工精度的检测，特别适用于对表面质量要求极高的半导体制造行业。通过详细阐述测量原理、系统构成、操作步骤及数据分析方法，本文展示了该技...
在现代化工业生产中，确保每一个零部件的精确性是实现产品高质量、高性能的基石。特别是在电动工具领域，按钮配件的行程精度直接关系到工具的操作体验、安全性能及使用寿命。传统检测方法虽能基本满足需求，但在追求极致精度的今天，其局限性日益凸显。本文将以一次针对电动工具按钮配件行程检测的技术...
表面粗糙度是描述表面微观轮廓的基本参数，对于评价产品性能至关重要。在机械加工、薄膜制备、微纳机电系统以及光学精密加工等领域，表面粗糙度是评价产品性能的重要指标之一。为了提高加工检测效率，实现尺寸形位公差与微观轮廓的同平台测量，本文提出一种基于光谱共焦位移传感器的在线集成表面粗糙度...
2.0/4.5mm透明玻璃测厚，使用C10000探头，放置在二维工作台上记录左右移动的极差范围，如下表：测量方案：运动机构控制探头沿内壁进行扫描，通过运动机构编码器触发控制器采样，获取待测点位置数据和高度数据（即探头测量值），对扫描得到的轮廓进行计算分析，得到粗糙度。风险项：1....
在超高精密加工中，在线测量(OMM)系统是实现高效轮廓补偿和改善加工条件的有效装置。在此，我们报告了一个新的OMM系统与共焦彩色探针在五轴超高精密机床上构造使用实时位置捕获方法。使用个人计算机同步捕获探头和机床位置，以产生轮廓测量数据。长期和短期稳定性、微阶跃响应和重复性测试表明...
摘要:为了实现50nm左右回转误差测量，设计了一种新型非接触式测量系统，该系统采用光谱共焦位移传感器，通过反向法获得回转轴系径向回转误差、标准球圆度误差。标准球圆度误差测量值与标称值的最大差值为5nm，表明该测量系统的测量精度能够满足设计要求。关键词:回转误差;光谱共焦位移传感器...
摘要:为了提高加工检测效率，实现尺寸形位公差与微观轮廓的同平台测量，提出一种基于光谱共焦位移传感器在现场坐标测量平台上集成表面粗糙度测量的方法。搭建实验测量系统且在Lab VIEW平台上开发系统的硬件通讯控制模块，并配套了高斯轮廓滤波处理及表面粗糙度的评价环境，建立了非接触的表面...
光谱共焦传感器可以提供结合最高精度和高速的最新现代技术。这些特性使这些多功能距离和位移传感器非常适合工业 4.0 的高要求。在工业 4.0 的世界中，传感器必须能够进行高速测量并提供高精度结果，以确保可靠的质量保证。光学测量技术是非接触式的，独立于目标材料和表面特性，因此它们对生...
一家英国的工程和测试公司在自动组装和测试机器上安装了光谱共焦位移传感器，用于检查精密圆盘销组件的对齐情况，该组件是汽车喷油器阀的一部分。这些高精度共焦位移传感器能够在2微米的间隙内测量圆盘销组件的对齐情况。自动化组装测试机该公司总部位于科尔切斯特，有着广泛的合作客户群体，包括主流...