涂层在线测量与控制需求书
一、 工艺概述：
1. 大致流程：
产品为带状柔性薄膜，收纳为卷处于放卷处，放卷/收卷/主轴分别连接有伺服电机，可控制张力与转速；收卷与放卷相对反向转动为产品提供张力，主轴转动时带动产品移动，当产品经过主轴下方在其表面生成涂层，该过程处于真空环境下；
2. 产品特性：
产品结构如图示，表面有一定粗糙度；涂层为金属材料，不同规格产品涂层量不同约1-10um。
3. 工作环境：
上下跳动 0.3mm内
二、 需求概述：
1. 目标：
对产品表面涂层量在线测量，当涂层量与预设不符时，联动生产设备对其纠正。
2. 产品结构：
应至少包含测量仪器，信号送变器，数据处理模块，显示模块，操作模块，控制输出模块；
3. 流程：
在生产过程中，测量仪对产品宽度方向不同位置的涂层量测量，对该数据处理分析后，反馈并控制涂层制作设备，保证产品表面涂层量符合设定要求；
4. 特性：
涂层测量精度：±1um,涂层控制精度：±1um;
解决方案：
测试方法：
将被测物放置于运动平台上，控制运动平台沿特定方向往复运动多次，通过编码器触发控制器采样，从而测量得到被测物某一截面上不同位置的厚度。
1. C1200静态单点测量涂层厚度时，重复精度在100nm以内。
2. 由于被测物并不平整，所以被测物运动过程中测量不同位置厚度会有变化，但通过编码器触发测量时，在同一位置触发测量得到的厚度值，依然有较好的重复精度。