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详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

日期: 2023-09-16
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来自 泓川科技
发表于: 2023-09-16
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大家好,今天给大家详细说明下目前我们市面上用的激光位移传感器内部构造及详细原理、应用、市场种类、及未来发展,我在网上搜索了很多资料,发现各大平台或者厂商提供的信息大多千篇一律或者式只言片语,要么是之说出大概原理,要买只讲出产品应用,对于真正想了解激光位移传感器三角回差原理的朋友们来说总是没有用办法说透,我今天花点时间整理了各大平台的大牛们的解释,再结合自己对产品这么多年来的认识,整理出以下这篇文章,希望能给想要了解这种原理的小伙伴一点帮助!好了废话不多说我们直接上干货

首先我们要说明市面上的激光测量位移或者距离的原理有很多,比如最常用的激光三角原理,TOF时间飞行原理,光谱共焦原理和相位干涉原理,我们今天给大家详细介绍的是激光三角测量法和激光回波分析法,激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量,而激光回波分析法则用于远距离测量,下面分别介绍激光三角测量原理和激光回波分析原理。让我们给大家分享一个激光位移传感器原理图,一般激光位移传感器采用的基本原理是光学三角法:

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

半导体激光器:半导体激光器①被镜片②聚焦到被测物体⑥。反射光被镜片③收集,投射到CMOS阵列④上;信号处理器⑤通过三角函数计算阵列④上的光点位置得到距物体的距离。

一 、激光位移传感器原理之激光三角测量法原理

1.激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面,经物体反射的激光通过接收器镜头,被内部的CCD线性相机接收,根据不同的距离,CCD线性相机可以在不同的角度下“看见”这个光点。根据这个角度及已知的激光和相机之间的距离,数字信号处理器就能计算出传感器和被测物体之间的距离。同时,光束在接收元件的位置通过模拟和数字电路处理,并通过微处理器分析,计算出相应的输出值,并在用户设定的模拟量窗口内,按比例输出标准数据信号。如果使用开关量输出,则在设定的窗口内导通,窗口之外截止。另外,模拟量与开关量输出可独立设置检测窗口。

2. 测量方式(直射式、斜射式)(在市场中直射式对应漫反射式,斜射式对应正反射式)

最简单的三角位移测量系统是从光源发射一束光到被测物体表面,在另一方向通过成像观察反射光点的位置,从而计算出物点的位移。 由于入射和反射光为成一个三角形,所以这种方法被称为三角测量法,又可按入射光线与被测工件表面法的关系分为直射式和斜射式。

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

激光器发出的光线,经会聚选镜聚焦后垂直入射到被测物体表面上,物体移动或表面变化导致入射光点沿入射光轴移动。 接收透接收来自入射光点处的散射光,并将其成像在光点位置探测器 (如 PSD、CCD)软感面上。 但由于传感器激光光束与被测面垂直,因此只有一个准确的调焦位置,其余位置的像都处于不同程度的离焦状态。离焦将引起像点的弥散,从而降低了系统的测量精度。 为了提高精度 ,θ1和θ2 必须满足

tgθ1= Utgθ2

式中,U为横向放大率。 此时一定景深范围内的被测点都能正焦成像在探测器上,从而保证了精度。若光点在成像面上的位移为 x’,利用相似三角形各边之间的比例关系,按下式可求出被测面的位移:

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

激光器发出的光与被测面的法线方向成一定角度入射到被测面上,同样用接收透接收光点在被测面的散射光或反射光。 此时应满足

tg(θ1+ θ2)=Utgθ3 

若光点的像在探测器敏感面上移动 X',利用相似三角形的比例关系,则物体表面沿法线方向的移动距离为、

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

式中,θ1为激光束光轴与被测面法线之间的夹角; θ2为成像镜光轴与被侧面之间的夹角:θ3 为探测器光轴与成像镜光轴之间的夹角。

重点:直射式和斜射式在市场应用中主要有什么区别呢?

直射式应对的是漫反射物体表面,也就是非透明不反光的材料,对于这种材料我们多数选择漫直射式测量原理,这样可以保证测量精度,但是这并不表示传感器不能斜着测量物体,因为很多时候由于传感器需要配合加工设备检测很有可能无法垂直照射到被测点,那么我们怎么办呢?只要我们稍加放宽精度,再加上余弦误差就可以获得相对准确的数据;


斜射式应对的式透明材料和镜面材料,由于这种材料对光的反射特殊为了更好的捕捉反射回来的光,必须让传感器按照设计好的角度来安装,但是正反射的量程一般做不了太大。大多在100mm以内。

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用


我们拿HC26系列激光位移传感器为例可以看下他们在漫反射和正反射情况下对应的对应的精度和范围

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二、激光位移传感器市场中主要的应用介绍

激光位移传感器常用于位移量、长度、距离、振动、速度、方位等物理量的测量等 。


1.尺寸的测量,包括微小零件的位置判别;材料重叠和覆盖的分辨;机械手位置(工具中心位置)的控制;器件状态检测;振动频率测量分析;瞬间形变;碰撞试验测量;汽车零配件相关试验等。

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用


2.金属薄片和薄膜的厚度测量:厚度的变化检出可以帮助发现皱纹,小孔或者重叠,以避免机器发生故障。

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3.测量:长度,内、外直径偏心度,角度,,同心度以及表面轮廓。

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

4.长度的测量:将测量的组件放在指定位置的输送带上,激光传感器检测到该组件并与触发的激光扫描仪同时进行测量,最后得到组件的长度。

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5.均匀度和平面度的检测:让测量的工件运动的倾斜方向放置几个激光传感器,直接通过一个传感器进行度量值的输出,另外也可以用一个软件计算出度量值,并根据信号或数据读出结果。或者在一个屏幕上多个点位放置传感器,先用一个标准工件进行校准归零,然后再测量需要测量的工件,就能获得各个位置的差值。

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

三、目前市场中的激光位移传感器等级分类

1、相对经济型(千元左右)的cmos激光位移传感器

量程种类一般分为:10mm,30mm,70mm,160mm,400mm

测量线性度一般在0.2%到0.4%之间,对应的测量精度0.02-3mm之间

测量速度一般不超过1Khz

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2、中档类的(两千到五千之间)激光位移传感器,这类传感器主要式性能更强大,数据更稳定,可以测量的材料种类更丰富。一般量程有8mm,20mm,30mm,50mm,100mm,200mm,300mm等

测量线性度一般在0.1%到0.2%之间,对应的测量精度0.008mm-0.5mm之间

测量速度一般在2-3Khz

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

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3、高档类的(万元以上)激光位移传感器,这类传感器除了精度有明显的提升,数据更稳定,可以测量的材料种类更丰富。最重要的是测量速度大大提高,可以达到十万赫兹以上。一般量程有1mm,10mm,30mm,80mm,200mm,500mm,1000mm,2000mm等

测量线性度一般在0.02%到0.05%之间,对应的测量精度0.002mm-0.5mm之间, 测量速度一般在50-160Khz。

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

最后我们来说一说激光三角位移传感器再安装中需要主义的事项

1, 根据被测体所在位置确定的安装位置, 使其位于有效的量程内。
2, 一般传感器都有两个安装孔, 可以通过 螺栓与固定基板连接。

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

3, 根据测量应用, 选择垂直或镜相安装方式, 参照外壳上两种不同安装方式时的基准平面, 如下图所示:

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

4, 根据被测体特征选择正确的安装方式:

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

未来,激光位移传感器的应用前景非常广阔,以下是一些可能的发展趋势和应用领域:

  1. 工业制造:激光位移传感器可以用于工业自动化系统中的精密测量和控制,例如机械加工、装配线的自动化调整和精度监测等。在制造过程中的位移和形变测量可以提高生产效率和产品质量。

  2. 机器人技术:激光位移传感器可以为机器人提供高精度的环境感知和定位能力,使其能够准确感知和处理周围环境的位移和变化。这将提高机器人的自主导航、操作和协作能力。

  3. 智能交通:激光位移传感器可以在智能交通系统中应用,用于车辆之间的距离测量和碰撞预警。这将提高交通安全性和车辆的自动驾驶能力。

  4. 建筑与土木工程:激光位移传感器可以用于建筑物和桥梁等结构的变形监测,实时检测和评估结构的稳定性和安全性。这为结构维护和修复提供了重要的参考。

  5. 航空航天:激光位移传感器可以应用于航空航天领域,用于飞机和航天器的姿态控制、振动监测和结构健康管理。这有助于提高飞行器的稳定性和安全性。

  6. 医疗诊断:激光位移传感器可以在医疗领域中应用于精确的生物测量,例如眼科手术中的眼球运动测量,以及姿势分析和运动捕捉等。

总之,激光位移传感器具有高精度、非接触性和快速响应等优势,将在多个领域发挥重要作用。随着技术的不断进步和应用需求的增加,激光位移传感器的性能和功能将得到进一步提升,为各行各业带来更多创新和便利。


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    一、引言1.1 研究背景与目的在当今科技迅猛发展的时代,传感器作为获取信息的关键设备,在工业自动化、智能制造、航空航天、汽车制造等众多领域中发挥着不可或缺的重要作用。激光位移传感器凭借其高精度、非接触式测量、快速响应等显著优势,成为了现代精密测量领域的核心设备之一。近年来,随着国内制造业的转型升级以及对高精度测量需求的不断攀升,我国传感器市场呈现出蓬勃发展的态势。然而,长期以来,高端激光位移传感器市场大多被国外品牌所占据,这不仅限制了国内相关产业的自主发展,还在一定程度上影响了国家的产业安全。在此背景下,国产激光位移传感器的研发与推广显得尤为重要。本研究聚焦于国产激光位移传感器 HCM 系列,旨在深入剖析该系列产品的技术特点、性能优势、应用场景以及市场竞争力。通过对 HCM 系列产品的全面研究,期望能够为相关行业的企业提供有价值的参考依据,助力其在设备选型、技术升级等方面做出更为明智的决策。同时,本研究也希望能够为推动国产激光位移传感器行业的发展贡献一份力量,促进国内传感器产业的技术进步与创新,提升我国在高端传感器领域的自主研发能力和市场竞争力。1.2 研究方法与数据来源本研究综合运用了多种研究方法,以确保研究的全面性、准确性和可靠性。在研究过程中,首先进行了广泛的文献研究,收集并深入分析了国内外关于激光位移传感器的学术论文、行业报告、专利文献等资料,从而对激光位移传感器的发展历程...
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半导体行业测量与检测现状--白皮书 (2) 2026 - 07 - 25 3 半导体行业发展现状与趋势 本章分析全球及中国半导体产业的发展动态,以及对量测检测领域的影响,包括市场驱动力、挑战和技术演进路线等。 3.1 产业发展现状 全球与中国市场规模: 受益于 5G、AI、物联网等需求推动,全球半导体设备市场近年来快速扩张,2019 年2022 年从 598 亿美元增长至 1,076 亿美元。2023 年由于芯片下游需求疲软出现小幅下滑,全球设备销售额约 1,063 亿美元,同比下降 1.3%。其中,中国大陆仍是全球最大的半导体设备市场,2023 年采购约 367 亿美元设备,占全球约 34.5%。在这一大背景下,用于工艺控制的量测 / 检测设备(即良率检测设备)也保持增长:2023 年全球半导体量测和检测设备市场规模达 128.3亿美元,同比增长 1.6%,2019-2023 年 CAGR 高达19.1%。中国大陆市场同期由 16.9 亿美元增至约 42.3亿美元,占全球比重从 26.5% 提升至约 33%。尽管短期增速有所区别,但中长期看大陆市场增势强劲,预计2025 年中国大陆量测设备销售将继续两位数增长。 行业格局与竞争: 半导体量检测设备属于高技术壁垒行业, 全球市场集中度极高。前道量测 / 检测领域被少数国际巨头垄断, 前五大厂商市占率超过 80%。美国科磊公司 (KLA) 是绝对龙头,在光学检测和裸晶圆检测等核心领...
半导体行业测量与检测现状--白皮书 (1) 2026 - 07 - 24 1 行业概述 半导体 “量检测” 一般指半导体制造过程中的测量与检测(Metrology & Inspection),涵盖对晶圆和芯片进行尺寸测量、缺陷检测、测试分析等环节。这类设备通过精密仪器和软件,在晶圆制造从光刻到封装的各阶段对关键参数和缺陷进行检测,把控产品良率。由于半导体元件的微缩和复杂化,量测与检测成为保障产品性能和良率的核心环节,被视为芯片制造的“质量保障”命脉。这些设备广泛应用于硅晶圆制造线的各步骤,以及封装测试、印刷电路板检测等领域,确保从晶圆到成品的每一阶段满足严格的技术规范。例如,在晶圆制造中,自动检测系统可识别光刻中的缺陷、量测线宽和膜厚,在封装中 AOI 和 X 射线检测设备可发现封装内部的焊点空洞等缺陷。 半导体 “量检测” 存在诸多难点,主要体现在检测精度要求高、检测速度与效率的平衡、缺陷检测难度大等方面。这些技术难点直接推高了行业准入门槛,促使企业加大研发投入,同时也推动了检测设备向智能化、自动化方向发展。高效精准的检测技术已成为提升产品良率、降低生产成本的关键,正在重塑半导体行业的市场竞争格局。 市场规模及发展 随着半导体行业的持续增长,对检测设备的需求也稳步上升。据统计,2021 年全球半导体量测与检测设备市场规模约为 73 亿美元,预计 2031 年将增长至 133 亿美元,年复合增长率约 6.2%。...
LTP 系列激光位移传感器全国产化之路 —— 从技术依赖到自主可控的心路历程 2026 - 04 - 12 作为一名深耕精密传感行业十余年的从业者,我全程参与了泓川科技 LTP 系列高速高精度激光三角位移传感器的全国产化攻坚。这段从 “全盘进口” 到 “100% 自主可控” 的历程,不仅是一款产品的突围,更是中国高端工业传感器打破封锁、实现自立自强的真实缩影。当前,中国已是全球最大的制造业基地与工业传感器消费市场,智能制造、半导体、锂电、汽车电子等领域对纳米级位移测量的需求呈爆发式增长。而激光三角位移传感器作为精密测控的 “核心标尺”,长期被欧美日品牌垄断 —— 高端型号依赖进口核心器件,不仅采购成本高出 30%-50%,交期动辄 3-6 个月,更面临供应链断供、技术卡脖子的致命风险。在国产替代成为国家战略、产业链安全重于一切的今天,高端传感器的全国产化,早已不是选择题,而是关乎制造业根基的必答题。LTP 系列的国产化之路,正是在这样的时代背景下,一群中国传感人用坚守与突破,写下的硬核答卷。一、初心与觉醒:从 “拿来主义” 到 “必须自主” 的心路转折回望 LTP 系列的起点,我们和国内绝大多数同行一样,深陷核心部件全面依赖进口的困境。早年做激光位移传感器,我们奉行 “集成路线”:激光器选日本某品牌的 655nm 半导体激光管,光学镜头采购德国高精度玻璃透镜,信号处理芯片用美国 TI 的高精度 ADC,就连光电探测器、滤波片也全部依赖进口。这套方案成熟稳定,但代价沉重:核心部件被供应商卡...
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