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详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

日期: 2023-09-16
浏览次数: 466
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来自 泓川科技
发表于: 2023-09-16
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大家好,今天给大家详细说明下目前我们市面上用的激光位移传感器内部构造及详细原理、应用、市场种类、及未来发展,我在网上搜索了很多资料,发现各大平台或者厂商提供的信息大多千篇一律或者式只言片语,要么是之说出大概原理,要买只讲出产品应用,对于真正想了解激光位移传感器三角回差原理的朋友们来说总是没有用办法说透,我今天花点时间整理了各大平台的大牛们的解释,再结合自己对产品这么多年来的认识,整理出以下这篇文章,希望能给想要了解这种原理的小伙伴一点帮助!好了废话不多说我们直接上干货

首先我们要说明市面上的激光测量位移或者距离的原理有很多,比如最常用的激光三角原理,TOF时间飞行原理,光谱共焦原理和相位干涉原理,我们今天给大家详细介绍的是激光三角测量法和激光回波分析法,激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量,而激光回波分析法则用于远距离测量,下面分别介绍激光三角测量原理和激光回波分析原理。让我们给大家分享一个激光位移传感器原理图,一般激光位移传感器采用的基本原理是光学三角法:

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

半导体激光器:半导体激光器①被镜片②聚焦到被测物体⑥。反射光被镜片③收集,投射到CMOS阵列④上;信号处理器⑤通过三角函数计算阵列④上的光点位置得到距物体的距离。

一 、激光位移传感器原理之激光三角测量法原理

1.激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面,经物体反射的激光通过接收器镜头,被内部的CCD线性相机接收,根据不同的距离,CCD线性相机可以在不同的角度下“看见”这个光点。根据这个角度及已知的激光和相机之间的距离,数字信号处理器就能计算出传感器和被测物体之间的距离。同时,光束在接收元件的位置通过模拟和数字电路处理,并通过微处理器分析,计算出相应的输出值,并在用户设定的模拟量窗口内,按比例输出标准数据信号。如果使用开关量输出,则在设定的窗口内导通,窗口之外截止。另外,模拟量与开关量输出可独立设置检测窗口。

2. 测量方式(直射式、斜射式)(在市场中直射式对应漫反射式,斜射式对应正反射式)

最简单的三角位移测量系统是从光源发射一束光到被测物体表面,在另一方向通过成像观察反射光点的位置,从而计算出物点的位移。 由于入射和反射光为成一个三角形,所以这种方法被称为三角测量法,又可按入射光线与被测工件表面法的关系分为直射式和斜射式。

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

激光器发出的光线,经会聚选镜聚焦后垂直入射到被测物体表面上,物体移动或表面变化导致入射光点沿入射光轴移动。 接收透接收来自入射光点处的散射光,并将其成像在光点位置探测器 (如 PSD、CCD)软感面上。 但由于传感器激光光束与被测面垂直,因此只有一个准确的调焦位置,其余位置的像都处于不同程度的离焦状态。离焦将引起像点的弥散,从而降低了系统的测量精度。 为了提高精度 ,θ1和θ2 必须满足

tgθ1= Utgθ2

式中,U为横向放大率。 此时一定景深范围内的被测点都能正焦成像在探测器上,从而保证了精度。若光点在成像面上的位移为 x’,利用相似三角形各边之间的比例关系,按下式可求出被测面的位移:

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

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激光器发出的光与被测面的法线方向成一定角度入射到被测面上,同样用接收透接收光点在被测面的散射光或反射光。 此时应满足

tg(θ1+ θ2)=Utgθ3 

若光点的像在探测器敏感面上移动 X',利用相似三角形的比例关系,则物体表面沿法线方向的移动距离为、

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式中,θ1为激光束光轴与被测面法线之间的夹角; θ2为成像镜光轴与被侧面之间的夹角:θ3 为探测器光轴与成像镜光轴之间的夹角。

重点:直射式和斜射式在市场应用中主要有什么区别呢?

直射式应对的是漫反射物体表面,也就是非透明不反光的材料,对于这种材料我们多数选择漫直射式测量原理,这样可以保证测量精度,但是这并不表示传感器不能斜着测量物体,因为很多时候由于传感器需要配合加工设备检测很有可能无法垂直照射到被测点,那么我们怎么办呢?只要我们稍加放宽精度,再加上余弦误差就可以获得相对准确的数据;


斜射式应对的式透明材料和镜面材料,由于这种材料对光的反射特殊为了更好的捕捉反射回来的光,必须让传感器按照设计好的角度来安装,但是正反射的量程一般做不了太大。大多在100mm以内。

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我们拿HC26系列激光位移传感器为例可以看下他们在漫反射和正反射情况下对应的对应的精度和范围

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二、激光位移传感器市场中主要的应用介绍

激光位移传感器常用于位移量、长度、距离、振动、速度、方位等物理量的测量等 。


1.尺寸的测量,包括微小零件的位置判别;材料重叠和覆盖的分辨;机械手位置(工具中心位置)的控制;器件状态检测;振动频率测量分析;瞬间形变;碰撞试验测量;汽车零配件相关试验等。

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2.金属薄片和薄膜的厚度测量:厚度的变化检出可以帮助发现皱纹,小孔或者重叠,以避免机器发生故障。

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3.测量:长度,内、外直径偏心度,角度,,同心度以及表面轮廓。

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4.长度的测量:将测量的组件放在指定位置的输送带上,激光传感器检测到该组件并与触发的激光扫描仪同时进行测量,最后得到组件的长度。

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5.均匀度和平面度的检测:让测量的工件运动的倾斜方向放置几个激光传感器,直接通过一个传感器进行度量值的输出,另外也可以用一个软件计算出度量值,并根据信号或数据读出结果。或者在一个屏幕上多个点位放置传感器,先用一个标准工件进行校准归零,然后再测量需要测量的工件,就能获得各个位置的差值。

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三、目前市场中的激光位移传感器等级分类

1、相对经济型(千元左右)的cmos激光位移传感器

量程种类一般分为:10mm,30mm,70mm,160mm,400mm

测量线性度一般在0.2%到0.4%之间,对应的测量精度0.02-3mm之间

测量速度一般不超过1Khz

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2、中档类的(两千到五千之间)激光位移传感器,这类传感器主要式性能更强大,数据更稳定,可以测量的材料种类更丰富。一般量程有8mm,20mm,30mm,50mm,100mm,200mm,300mm等

测量线性度一般在0.1%到0.2%之间,对应的测量精度0.008mm-0.5mm之间

测量速度一般在2-3Khz

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

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3、高档类的(万元以上)激光位移传感器,这类传感器除了精度有明显的提升,数据更稳定,可以测量的材料种类更丰富。最重要的是测量速度大大提高,可以达到十万赫兹以上。一般量程有1mm,10mm,30mm,80mm,200mm,500mm,1000mm,2000mm等

测量线性度一般在0.02%到0.05%之间,对应的测量精度0.002mm-0.5mm之间, 测量速度一般在50-160Khz。

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

最后我们来说一说激光三角位移传感器再安装中需要主义的事项

1, 根据被测体所在位置确定的安装位置, 使其位于有效的量程内。
2, 一般传感器都有两个安装孔, 可以通过 螺栓与固定基板连接。

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

3, 根据测量应用, 选择垂直或镜相安装方式, 参照外壳上两种不同安装方式时的基准平面, 如下图所示:

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4, 根据被测体特征选择正确的安装方式:

详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

未来,激光位移传感器的应用前景非常广阔,以下是一些可能的发展趋势和应用领域:

  1. 工业制造:激光位移传感器可以用于工业自动化系统中的精密测量和控制,例如机械加工、装配线的自动化调整和精度监测等。在制造过程中的位移和形变测量可以提高生产效率和产品质量。

  2. 机器人技术:激光位移传感器可以为机器人提供高精度的环境感知和定位能力,使其能够准确感知和处理周围环境的位移和变化。这将提高机器人的自主导航、操作和协作能力。

  3. 智能交通:激光位移传感器可以在智能交通系统中应用,用于车辆之间的距离测量和碰撞预警。这将提高交通安全性和车辆的自动驾驶能力。

  4. 建筑与土木工程:激光位移传感器可以用于建筑物和桥梁等结构的变形监测,实时检测和评估结构的稳定性和安全性。这为结构维护和修复提供了重要的参考。

  5. 航空航天:激光位移传感器可以应用于航空航天领域,用于飞机和航天器的姿态控制、振动监测和结构健康管理。这有助于提高飞行器的稳定性和安全性。

  6. 医疗诊断:激光位移传感器可以在医疗领域中应用于精确的生物测量,例如眼科手术中的眼球运动测量,以及姿势分析和运动捕捉等。

总之,激光位移传感器具有高精度、非接触性和快速响应等优势,将在多个领域发挥重要作用。随着技术的不断进步和应用需求的增加,激光位移传感器的性能和功能将得到进一步提升,为各行各业带来更多创新和便利。


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    一、引言在工业自动化领域,激光位移传感器作为精密测量的核心部件,其性能与成本直接影响设备的竞争力。本文聚焦泓川科技 LTM3 系列与米铱 ILD1750 系列,从技术参数、应用场景及成本等维度展开深度对比,揭示 LTM3 系列如何以卓越性能和显著成本优势成为更具性价比的选择。二、核心参数对比指标泓川科技 LTM3 系列米铱 ILD1750 系列测量频率最高 10kHz,适用于高速动态测量场景最高 7.5kHz,满足常规工业速度需求重复性精度0.25μm 起(如 LTM3 - 030),达到亚微米级精度0.1μm 起,精度表现优异线性误差低至 0.06% FSO 起,基于百分比的误差控制防护等级IP67,可抵御粉尘、液体喷射及短时浸水IP65,防护性能良好但略逊于 LTM3外形尺寸605020.4mm,体积小巧,适配狭窄空间未明确标注,但工业通用设计体积较大重量约 150g,轻便易安装未明确标注,推测重于 LTM3 系列输出接口以太网、485 串口、模拟信号(±10V/4 - 20mA),支持工业网络集成模拟量(U/I)、数字量(RS422),传统工业接口配置光源655nm/660nm 红光激光,稳定可靠670nm 红光激光,测量光斑控制优秀工作温度0 - 50°C,适应多数工业环境0 - 50°C,环境适应性相当三、LTM3 系列核心优势解析(一)性能...
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蓝光光源激光位移传感器:优势、原理与特殊场景解决方案 —— 泓川科技 LTP 系列 405nm 定制... 2025 - 10 - 21 在工业精密测量中,传统红光激光位移传感器常受高反射、半透明、高温红热等特殊场景限制,而蓝光光源(405nm 波长)凭借独特物理特性实现突破。以下通过 “一问一答” 形式,详解蓝光传感器的优势、原理构造,并结合泓川科技 LTP 系列定制方案,看其如何解决特殊环境测量难题。1. 蓝光光源激光位移传感器相比传统红光,核心优势是什么?蓝光传感器的核心优势源于 405nm 波长的物理特性,相比传统 655nm 左右的红光,主要体现在三方面:更高横向分辨率:根据瑞利判据,光学分辨率与波长成反比。蓝光波长仅为红光的 62%(405nm/655nm≈0.62),相同光学系统下横向分辨率可提升约 38%,能形成更小光斑(如泓川 LTP025 蓝光版光斑最小达 Φ18μm),适配芯片针脚、晶圆等微米级结构测量。更强信号稳定性:蓝光单光子能量达 3.06eV,远高于红光的 2.05eV。在低反射率材料(如橡胶、有机涂层)表面,能激发出更强散射信号;同时穿透性更低,仅在材料表层作用,避免内部折射干扰,适合表面精准测量。更优抗干扰能力:蓝光波段与红热辐射(500nm 以上)、户外强光(可见光为主)重叠度低,搭配专用滤光片后,可有效隔绝高温物体自发光、阳光直射等干扰,这是红光难以实现的。2. 蓝光激光位移传感器的原理构造是怎样的?为何能实现高精度测量?蓝光传感器的高精度的核心是 “光学设计 + 信号处理 + ...
泓川科技国产系列光谱共焦/激光位移传感器/白光干涉测厚产品性能一览 2025 - 09 - 05 高精度测量传感器全系列:赋能精密制造,适配多元检测需求聚焦半导体、光学膜、机械加工等领域的精密检测核心痛点,我们推出全系列高性能测量传感器,覆盖 “测厚、对焦、位移” 三大核心应用场景,以 “高精准、高速度、高适配” 为设计核心,为您的工艺控制与质量检测提供可靠技术支撑。以下为各产品系列的详细介绍:1.LTS-IR 红外干涉测厚传感器:半导体材料测厚专属核心用途:专为硅、碳化硅、砷化镓等半导体材料设计,精准实现晶圆等器件的厚度测量。性能优点:精度卓越:±0.1μm 线性精度 + 2nm 重复精度,确保测量数据稳定可靠;量程适配:覆盖 10μm2mm 测厚范围,满足多数半导体材料检测需求;高效高速:40kHz 采样速度,快速捕捉厚度数据,适配在线检测节奏;灵活适配:宽范围工作距离设计,可灵活匹配不同规格的检测设备与场景。2. 分体式对焦传感器:半导体 / 面板缺陷检测的 “高速对焦助手”核心用途:针对半导体、面板领域的高精度缺陷检测场景,提供高速实时对焦支持,尤其适配显微对焦类检测设备。性能优点:对焦速度快:50kHz 高速对焦,同步匹配缺陷检测的实时性需求;对焦精度高:0.5μm 对焦精度,保障缺陷成像清晰、检测无偏差;设计灵活:分体式结构,可根据检测设备的安装空间与布局灵活调整,降低适配难度。3. LT-R 反射膜厚仪:极薄膜厚检测的 “精密管家”核心用途:专注于极薄膜...
多方面研究泓川科技LTP系列大量程全国产激光位移传感器 2025 - 09 - 02 泓川科技激光位移传感器产品技术报告尊敬的客户: 感谢您对泓川科技激光位移传感器产品的关注与信任。为帮助您全面了解我司产品,现将激光位移传感器相关技术信息从参数指标、设计原理、结构设计等八大核心维度进行详细说明,为您的选型、使用及维护提供专业参考。一、参数指标我司激光位移传感器涵盖 LTP400 系列与 LTP450 系列,各型号核心参数经纳米级高精度激光干涉仪标定验证,确保数据精准可靠,具体参数如下表所示:表 1:LTP400EA参数表参数类别具体参数LTP400EA备注基础测量参数测量中心距离400mm以量程中心位置计算(*1)量程200mm-重复精度(静态)3μm测量标准白色陶瓷样件,50kHz 无平均,取 65536 组数据均方根偏差(*2)线性度±0.03%F.S.(F.S.=200mm)采用纳米级激光干涉仪标定(*3)光源与光斑光源类型-激光功率可定制,部分型号提供 405nm 蓝光版本(*4)光束直径聚焦点光斑 Φ300μm中心位置直径,两端相对变大(*5)电气参数电源电压DC9-36V-功耗约 2.5W-短路保护反向连接保护、过电流保护-输出与通信模拟量输出(选配)电压:0-5V/010V/-1010V;电流:420mA探头可独立提供电压、电流与 RS485 输出(*6)通讯接口RS485 串口、TCP/IP 网口可选配模拟电压 / 电流输出模块(*7)响应...
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