高性能激光位移

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产品名称： LTM-030激光位移10mm量程5um线性精度，0.25um重复精度，50Khz响应速度

型号：只

时间： 2025 - 03 - 24

产品系列核心差异特性LTM2系列LTM3系列LTM5系列采样速度5kHz10kHz以太网31.25kHz模拟量50kHz软件支持不支持电脑连接支持TSLaserStudio软件支持TSLaserStudio软件接口类型RS485/模拟信号（二选一）以太网+RS485+模拟信号以太网+RS485+模拟信号产品型号及关键参数对比型号测量范围光斑尺寸重复精度线性误差重量采样频率特殊功能LTM2-03030±5mmΦ35μm0.25μm230g5kHz经济型，独立工作LTM2-030W30±5mmΦ35*400μm0.25μm230g5kHz宽光斑，更高精度LTM3-03030±5mmΦ35μm0.25μm150g10kHz支持以太网，软件调试LTM3-030W30±5mmΦ35*1200μm0.25μm150g10kHz超宽光斑，高精度LTM5-03030±5mmΦ35μm0.35μm150g31.25kHz/50kHz超高速，软件+数据保存LTM5-030W30±5mmΦ35*400μm0.35μm150g31.25kHz/50k...

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产品名称： LTM-050激光位移20mm量程10um线性精度，0.4um重复精度，50Khz响应速度

型号：只

时间： 2025 - 03 - 24

核心系列差异特性LTM2系列LTM3系列LTM5系列采样速度5kHz10kHz以太网31.25kHz模拟量50kHz软件支持不支持电脑连接支持TSLaserStudio软件及数据保存支持TSLaserStudio软件及数据保存接口类型RS485/模拟信号（二选一）以太网+RS485+模拟信号以太网+RS485+模拟信号详细参数对比（50mm量程型号）型号测量范围光斑尺寸重复精度线性误差重量采样频率核心功能LTM2-5050±10mmΦ45μm0.4μm230g5kHz经济型，独立工作LTM2-50W50±10mmΦ45*550μm0.4μm230g5kHz宽光斑优化，更高精度LTM3-5050±10mmΦ45μm0.4μm150g10kHz中速采样，支持软件调试LTM3-50W50±10mmΦ45*1800μm0.4μm150g10kHz宽光斑+软件调试LTM5-5050±10mmΦ45μm0.6μm150g50kHz（模拟量）超高速采样，数据存储LTM5-50W50±10mmΦ45*550μm0.6μm150g50kHz（模...

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产品名称： LTM-085激光位移40mm量程40um线性精度，0.8um重复精度，50Khz响应速度

型号：只

时间： 2025 - 03 - 24

核心系列差异特性LTM2系列LTM3系列LTM5系列采样速度5kHz10kHz以太网31.25kHz模拟量50kHz软件支持不支持电脑连接支持TSLaserStudio软件及数据保存支持TSLaserStudio软件及数据保存接口类型RS485/模拟信号（二选一）以太网+RS485+模拟信号以太网+RS485+模拟信号详细参数对比（85mm量程型号）型号测量范围光斑尺寸重复精度线性误差重量采样频率核心功能LTM2-8580±20mmΦ60μm0.8μm230g5kHz经济型，独立工作LTM2-85W85±20mmΦ60*800μm0.8μm230g5kHz宽光斑优化，更高精度LTM3-8585±20mmΦ60μm0.8μm150g10kHz中速采样，支持软件调试LTM3-85W85±20mmΦ60*2600μm0.8μm150g10kHz超宽光斑+软件调试LTM5-8585±20mm约Φ60μm1.3μm150g50kHz（模拟量）超高速采样，数据存储LTM5-85W85±20mmΦ60*800μm1.3μm150g50kHz...

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产品名称： LTM-150激光位移150mm量程150um线性精度，2um重复精度，50Khz响应速度

型号：只

时间： 2025 - 03 - 24

核心系列差异特性LTM2系列LTM3系列LTM5系列采样速度5kHz10kHz以太网31.25kHz模拟量50kHz软件支持不支持电脑连接支持TSLaserStudio软件及数据保存支持TSLaserStudio软件及数据保存接口类型RS485/模拟信号（二选一）以太网+RS485+模拟信号以太网+RS485+模拟信号详细参数对比（150mm量程型号）型号测量范围光斑尺寸重复精度线性误差重量采样频率核心功能LTM2-150150±75mmΦ120μm2μm230g5kHz经济型，独立工作LTM2-150W150±75mmΦ120*1500μm2μm230g5kHz宽光斑优化，更高精度LTM3-150150±75mmΦ120μm2μm150g10kHz中速采样，支持软件调试LTM3-150W150±75mmΦ120*1500μm2μm150g10kHz宽光斑+软件调试LTM5-150150±75mmΦ120μm3.5μm150g50kHz（模拟量）超高速采样，数据存储LTM5-150W150±75mmΦ120*1500μm3.5...

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产品名称： LTM-250激光位移300mm量程300um线性精度，10um重复精度，50Khz响应速度

型号：

时间： 2025 - 03 - 24

核心系列差异特性LTM2系列LTM3系列LTM5系列采样速度5kHz10kHz以太网31.25kHz模拟量50kHz软件支持不支持电脑连接支持TSLaserStudio软件及数据保存支持TSLaserStudio软件及数据保存接口类型RS485/模拟信号（二选一）以太网+RS485+模拟信号以太网+RS485+模拟信号详细参数对比（250mm量程型号）型号测量范围光斑尺寸重复精度线性误差重量采样频率核心功能LTM2-250250±150mmΦ180μm10μm230g5kHz经济型，独立工作LTM2-250W250±150mmΦ180*2600μm10μm230g5kHz宽光斑优化，更高精度LTM3-250250±150mmΦ180μm10μm150g10kHz中速采样，支持软件调试LTM3-250W250±150mmΦ180*2600μm10μm150g10kHz宽光斑+软件调试LTM5-250250±150mmΦ180μm10μm150g50kHz（模拟量）超高速采样，数据存储LTM5-250W250±150mmΦ180*...

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产品名称： LTM-400激光位移400mm量程400um线性精度，15um重复精度，50Khz响应速度

型号：只

时间： 2025 - 03 - 24

核心系列差异特性LTM2系列LTM3系列LTM5系列采样速度5kHz10kHz以太网31.25kHz模拟量50kHz软件支持不支持电脑连接支持TSLaserStudio软件及数据保存支持TSLaserStudio软件及数据保存接口类型RS485/模拟信号（二选一）以太网+RS485+模拟信号以太网+RS485+模拟信号详细参数对比（400mm量程型号）型号测量范围光斑尺寸重复精度线性误差重量采样频率核心功能LTM2-400400±200mmΦ250μm15μm230g5kHz经济型，独立工作LTM2-400W400±200mmΦ250*4500μm15μm230g5kHz宽光斑优化，更高精度LTM3-400400±200mmΦ250μm15μm150g10kHz中速采样，支持软件调试LTM3-400W400±200mmΦ250*4500μm15μm150g10kHz宽光斑+软件调试LTM5-400400±200mmΦ250μm15μm150g50kHz（模拟量）超高速采样，数据存储LTM5-400W400±200mmΦ250*...

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产品名称： LTM-800激光位移1000mm量程100um线性精度，45um重复精度，50Khz响应速度

型号：只

时间： 2025 - 03 - 24

核心系列差异特性LTM2系列LTM3系列LTM5系列采样速度5kHz10kHz以太网31.25kHz模拟量50kHz软件支持不支持电脑连接支持TSLaserStudio软件及数据保存支持TSLaserStudio软件及数据保存接口类型RS485/模拟信号（二选一）以太网+RS485+模拟信号以太网+RS485+模拟信号详细参数对比（800mm量程型号）型号测量范围光斑尺寸重复精度线性误差重量采样频率核心功能LTM2-800800±500mmΦ450μm45μm230g5kHz经济型，独立工作LTM2-800W800±500mmΦ450*6000μm45μm230g5kHz超宽光斑，精度优化LTM3-800800±500mmΦ450μm45μm150g10kHz中速采样，支持软件调试LTM3-800W800±500mmΦ450*6000μm45μm150g10kHz超宽光斑+软件调试LTM5-800800±500mmΦ450μm45μm150g50kHz（模拟量）超高速采样，数据存储LTM5-800W800±500mmΦ450*...

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专业从事激光位移传感器，激光焊缝跟踪系统研发及销售的科技公司

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相位法激光测距传感器原理简述

2023 - 02 - 20

相位法激光测距传感器是一种用于测量距离的传感器，它使用衰减激光来测量距离。激光在一个激光发射器中发出，并由一个接收器接收。激光发射持续一段时间，称为测量时间，根据接收信号的强度和相位推导出一般的相对距离和数据。激光距离传感器的原理有点像各种闪烁的表盘表，只是发射的激光光源更小而且激光传播时间更短，所以更快。传感器通过测量当激光发出后多久接收到信号来测量物体之间的相对位置，也就是距离。由于抛物线和容积衰减，激光越远越弱，为了准确测量距离，必须使用准确的激光，并且随着距离的增加接收性能衰减越多，因此必须调整传感器的接收阈值，以确保可以正确测量所需的距离。当激光被发射出去时，传感器会记录发射的时间，当激光被接收时，传感器记录激光接收的时间。然后，将发射时间和接收时间相减，就可以得到大约的信号传播时间，就可以用它来测量形成到目标物体的距离。然而，如果电路中的任何一部分停顿，传感器就不能正确测量距离，可能会产生一些不准确的测量。因此，为了防止这种情况的发生，许多传感器使用了自适应滤波器，可以有效地滤除由尘埃、碰撞或干扰引起的杂散信号，从而确保测量准确。相位法激光测距传感器具有较低...
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泓川科技：破冰之旅——LTP系列激光位移传感器，全国产化的辉煌篇章

2024 - 12 - 01

标题：泓川科技：破冰之旅——LTP系列激光位移传感器，全国产化的辉煌篇章在科技日新月异的今天，每一个微小的进步都可能成为推动行业变革的巨大力量。然而，在高端激光位移传感器领域，长期以来，我国一直面临着国外技术的严密封锁与市场垄断。西克SICK、米铱、基恩士、奥泰斯等国际品牌如同难以逾越的高山，让国内企业在这一关键领域步履维艰。但在这片看似无望的疆域中，泓川科技有限公司却以一腔热血和不懈追求，书写了一段打破垄断、实现全国产化替代的传奇故事。破冰之始：挑战与决心面对国际巨头的强势地位，泓川科技没有选择退缩，而是迎难而上。他们深知，要在这片被外资品牌牢牢掌控的市场中开辟新天地，就必须拿出过硬的产品和技术。于是，LTP系列高精度激光位移传感器的研发项目应运而生，这不仅是泓川科技对技术创新的执着追求，更是对国家科技自立自强战略的积极响应。技术攻坚：细节决定成败在LTP系列的研发过程中，泓川科技团队对每一个部件、每一个环节都进行了极致的打磨和优化。从激光器的选择到激光检测器的设计，从测量电路的构建到光学元件的精密调校，每一步都凝聚着科研人员的智慧和汗水。激光器：为了确保激光束的高方向性和集中度，泓川科技与国内顶尖的光电子企业合作，共同研发出适用于LTP系列的定制化激光器，其性能指标直追国际先进水平。激光检测器与测量电路：通过引进先进的信号处理技术和算法，泓川科技大幅提升了检测器的灵敏度和测量电...
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光谱共焦传感器在激光隐切技术（激光隐形切割）晶圆切割中发挥了哪些作用？

2023 - 09 - 25

由于半导体生产工艺的复杂性和精密性，对晶圆切割的技术要求极高，传统的机械切割方式已经无法满足现代电子行业的需求。在这种情况下，光谱共焦位移传感器配合激光隐切技术（激光隐形切割）在晶圆切割中发挥了重要作用。以下将详细介绍这种新型高效切割技术的应用案例及其优势。原理：利用小功率的激光被光谱共焦位移传感器设定的预定路径所导，聚焦在直径只有100多纳米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后根据这个能量将晶圆切割开。光谱共焦位移传感器在切割过程中实时检测切口深度和位置，确保切口的深广和位置的精确性。激光隐切与光谱共焦位移传感器结合的应用案例：以某种先进的半导体制程为例，晶圆经过深刻蚀、清洗、扩散等步骤后，需要进行精确切割。在这个过程中，首先，工程师根据需要的切割图案在软件上设定好切割路径，然后切割机通过光谱共焦位移传感器引导激光按照预定的路径且此过程工程师可以实时观察和测量切口深度和位置。优点：这种技术最大的优势就是它能够实现超微细切割，避免了大功率激光对芯片可能会带来的影响。另外，因为切割的深度和位置可以实时调控，这法也非常具有灵活性。同时，由于使用光谱共焦位移传感器精确控制切割的深度和位置，所以切割出来的晶圆表面平整，质量更好。总的来看，光谱共焦位移传感器配合激光隐切在晶圆切割中的应用，不仅提升了生产效率，减少了废品率，而且大幅度提升了产品质量，对于当前和未来的半导体行业都将是一个革新的技...
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非接触式激光传感器在生产线上的应用有哪些优势？

2024 - 03 - 05

非接触式激光位移传感器在生产线上的应用具有多方面的优势，下面将从精度、速度、可靠性、灵活性和安全性等方面进行逐一分析，并通过具体的应用场景来说明其应用价值。同时，还会与传统的接触式传感器进行比较，以突显非接触式激光位移传感器的独特优势。精度：非接触式激光位移传感器采用激光三角测量法，具有极高的测量精度。例如，在半导体制造过程中，需要精确控制薄膜的厚度，非接触式激光位移传感器可以实现微米级的测量精度，从而确保产品质量。相比之下，传统接触式传感器可能会因为接触力度的不同而影响测量精度。速度：非接触式激光位移传感器具有快速响应的特点，可以在生产线上实现高速测量。例如，在包装机械中，需要实时监测包装材料的位置和速度，非接触式激光位移传感器可以迅速捕捉到这些变化，从而确保包装过程的顺利进行。而传统接触式传感器可能会因为接触摩擦等因素而影响测量速度。可靠性：非接触式激光位移传感器无需与目标物体直接接触，因此可以避免因摩擦、磨损等因素导致的传感器损坏。此外，非接触式传感器还具有较好的抗干扰能力，可以在恶劣的生产环境中稳定工作。相比之下，传统接触式传感器更容易受到环境因素的影响而出现故障。灵活性：非接触式激光位移传感器可以适应不同的测量需求，通过调整激光发射角度、接收透镜焦距等参数，可以实现不同距离、不同角度的测量。此外，非接触式传感器还可以与计算机、PLC等设备进行连接，实现自动化控制和数据处理...
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泓川科技国产工业拾取指示灯：点亮智能制造之光pick to light

2025 - 01 - 10

工业拾取指示灯 —— 智能工厂的得力助手在现代制造业蓬勃发展的浪潮中，工业拾取指示灯宛如一颗璀璨的明星，正逐渐成为众多工厂不可或缺的关键配置。它绝非普通的指示灯，而是集高效、精准、智能于一身的生产利器，能够显著优化物料拾取流程，大幅提升生产效率，为企业在激烈的市场竞争中脱颖而出提供坚实助力。泓川科技，作为国内工业自动化与智能化领域的佼佼者，始终专注于工业拾取指示灯的研发与创新。公司凭借深厚的技术积累、卓越的研发团队以及对市场需求的敏锐洞察，精心打造出一系列性能卓越、品质可靠的工业拾取指示灯产品，旨在为广大制造企业提供全方位、定制化的优质解决方案。接下来，让我们一同深入探寻泓川科技工业拾取指示灯的独特魅力与卓越优势。泓川科技：国产之光，品质领航泓川科技作为国内工业自动化与工业智能化领域的领军企业，多年来始终专注于为制造型企业提供高品质的产品与系统解决方案。公司凭借深厚的技术沉淀、强大的研发实力以及对市场趋势的精准把控，在工业拾取指示灯领域取得了斐然成就，成功助力众多企业迈向智能化生产的新征程。身为一家国产企业，泓川科技深谙本土客户需求，能够提供更贴合国情的定制化服务。与国外品牌相比，泓川科技在性价比、响应速度、售后服务等方面优势显著。公司拥有完备的自主研发与生产体系，不仅能确保产品质量的稳定性，还能有效控制成本，为客户带来实实在在的价值。而且，泓川科技建立了覆盖全国的销售与服务网络，...
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光谱共焦传感器在厚度测量中的应用研究报告（上）

2025 - 01 - 29

一、引言1.1 研究背景与意义在工业生产和科学研究中，精确测量物体厚度是保证产品质量、控制生产过程以及推动技术创新的关键环节。随着制造业向高精度、高性能方向发展，对厚度测量技术的精度、速度和适应性提出了更高要求。传统的厚度测量方法，如接触式测量（游标卡尺、千分尺等）不仅效率低下，还容易对被测物体表面造成损伤，且难以满足现代工业高速、在线测量的需求；一些非接触式测量方法，如激光三角法，在面对透明或反光表面时测量精度较低。光谱共焦传感器作为一种基于光学原理的高精度测量设备，近年来在厚度测量领域展现出独特优势。它利用光谱聚焦原理，通过发射宽光谱光并分析反射光的波长变化来精确计算物体表面位置信息，进而得到厚度值。该传感器具有纳米级测量精度、快速响应、广泛的适用性以及无接触测量等特点，能够有效解决传统测量方法的局限性，为玻璃、薄膜、半导体等行业的厚度测量提供了可靠的解决方案，在提升产品质量、优化生产流程、降低生产成本等方面发挥着重要作用。因此，深入研究光谱共焦传感器测量厚度的应用具有重要的现实意义和广阔的应用前景。1.2 研究目的与方法本研究旨在全面深入地了解光谱共焦传感器在测量厚度方面的性能、应用场景、优势以及面临的挑战，为其在工业生产和科研领域的进一步推广和优化应用提供理论支持和实践指导。具体而言，通过对光谱共焦传感器测量厚度的原理进行详细剖析，明确其测量的准确性和可靠性；分析不同行业中...
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带您了解激光位移传感器的原理、应用和由来

2023 - 02 - 21

激光位移传感器是一种用于测量距离和轮廓表面的自动光学传感技术。它的工作原理是发射激光束，激光束被目标表面或区域反射，然后光束返回所需的时间被转换为距离测量。它的主要应用是尺寸计量，可以精确测量长度、距离和粗糙度轮廓。激光位移传感器也用于工业自动化、机器人和机器视觉应用。什么是激光位移传感器？激光位移传感器是一种用于测量距离和轮廓表面的自动光学传感技术。该系统通过从激光源发射激光来工作。然后，该激光束从目标表面或区域反射回来。然后，光束覆盖距离和返回所花费的时间被转换为距离测量或轮廓。激光位移传感器通常由三个主要部分组成：*激光源*光学探测器*处理器激光源通常是激光二极管，其波长适合于目标区域及其光学特性。激光二极管产生激光束，该激光束被引导到目标表面或区域上。然后光束被反射回检测器。根据应用，可以用一定范围的脉冲频率调制光束。光束由光学检测器检测。检测器将光转换成电信号，然后将其发送到处理器。然后处理器处理信息并将测量数据发送到数字显示器或计算机。然后，数据可用于进一步分析或控制自动化过程。历史：激光位移传感器最初是在20世纪70年代开发的，是麻省理工学院研究项目的一部分。这项研究由美国陆军研究实验室和美国空军赖特实验室赞助。该技术最...
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深度解析泓川科技HCY系列高速高精光谱共焦传感器性能优势

2025 - 01 - 09

一、光谱共焦传感技术解密光谱共焦技术的起源，要追溯到科学家们对传统成像精度局限的深刻洞察。在 20 世纪 70 年代，传统成像在精密测量领域遭遇瓶颈，为突破这一困境，基于干涉原理的光谱共焦方法应运而生，开启了高精度测量的新篇章。进入 80 年代，科研人员不断改进仪器设计，引入特殊的分光元件，如同给传感器装上了 “精密滤网”，精准分辨不同波长光信号；搭配高灵敏度探测器，将光信号转化为精确数字信息。同时，计算机技术强势助力，实现数据快速处理、动态输出测量结果，让光谱共焦技术稳步走向成熟。90 年代，纳米技术、微电子学蓬勃发展，对测量精度要求愈发苛刻。科研团队迎难而上，开发新算法、模型优化测量，减少误差；增设温度控制、机械振动抑制功能，宛如为传感器打造 “稳定护盾”，确保在复杂实验环境下结果稳定可靠，至此，光谱共焦技术成为精密测量领域的关键力量。添加图片注释，不超过 140 字（可选）二、HCY 光谱共焦传感器工作原理（一）核心原理阐释HCY 光谱共焦传感器的核心在于巧妙运用光学色散现象。当内部的白光点光源发出光线后，光线会迅速射向精密的透镜组。在这里，白光如同被解开了神秘面纱，依据不同波长被精准地色散开来，形成一道绚丽的 “彩虹光带”。这些不同波长的光，各自沿着独特的路径前行，最终聚焦在不同的高度之上，构建起一个精密的测量范围 “标尺”。当光线抵达物体表面，会发生反射，其中特定波长的光...

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泓川科技LTC2600与基恩士CL-P015光谱共焦传感器全方位对比及国产替代 2025 - 03 - 22 一、核心性能参数对比：精度与场景适配性参数泓川科技LTC2600（标准版）泓川LTC2600H（定制版）基恩士CL-P015（标准版）参考距离15 mm15 mm15 mm测量范围±1.3 mm±1.3 mm±1.3 mm光斑直径9/18/144 μm（多模式）支持定制（最小φ5 μm）ø25 μm（单点式）重复精度50 nm50 nm100 nm线性误差±0.49 μm（标准模式）分辨率0.03 μm0.03 μm0.25 μm（理论值）防护等级IP40IP67（定制）IP67耐温范围0°C ~ +50°C-20°C ~ +200°C（定制）0°C ~ +50°C真空支持不支持支持（10^-3 Pa，定制）支持（10^-6 Pa，标准版）重量228 g250 g（高温版）180 g性能深度解析精度碾压：LTC2600的重复精度（50 nm）显著优于CL-P015（100 nm），线性误差（光斑灵活性：LTC2600支持多光斑模式（最小φ5 μm定制），可兼顾微小目标检测与粗糙面稳定性；CL-P015仅提供单点式光斑（ø25 μm），适用场景受限。环境适应性：CL-P015标准版支持超高真空（10^-6 Pa），但C2600通过...

求购激光位移传感器：量程200mm/500mm、采样48kHz、±0.05%线性度？-泓川... 2025 - 03 - 14 泓川科技LTP系列激光位移传感器全面匹配您的技术需求尊敬的客户：感谢您对泓川科技产品的关注！针对您提出的高精度激光位移传感器需求，我司LTP系列产品凭借卓越性能与灵活定制能力，可完全满足您的技术要求，具体对应如下：一、核心参数精准匹配需求项LTP400（200mm）LTP450（500mm）量程200mm（±100mm）500mm（±250mm）线性度±0.03%F.S.（优于要求）±0.05%F.S.（达标）重复精度（静态）±0.03%F.S.±0.05%F.S.采样频率50kHz全量程（达标）50kHz全量程（达标）输出信号-10V～10V（选配模块）-10V～10V（选配模块）技术优势说明：超高采样频率：LTP400/LTP450全量程下支持50kHz采样（48kHz），且可缩短量程至20%时提升至160kHz，满足高速动态测量需求（如振动检测、高速产线）。响应时间最低6.25μs（通过参数表*6可选配置），确保实时数据捕获能力。纳米级标定精度：基于纳米级激光干涉仪标定技术（参数表*3），线性度与重复性指标通过严格验证，确保长期稳定性。多输出模式兼容：支持**-10V～10V模拟输出**（需选配模块）、4～20mA电流输出、RS485及TCP/IP通讯，适配各类工业控制系统。48kHz、±0.05%线性度...

案例应用 | 基于光谱共焦技术的DPC陶瓷基板金属层测厚方案 2025 - 03 - 06 背景与挑战随着电子封装技术的快速发展，直接镀铜陶瓷基板（DPC）因具备优异的导热性、机械强度及耐高温性能，被广泛应用于大功率LED、IGBT模块等领域。然而，其表面金属镀层的厚度均匀性直接影响器件的散热效率与可靠性。某客户需对一批DPC基板进行全检，要求**在正反面各选取10个金属块（含2个重复基准点）**进行高精度厚度测量，并同步获取表面轮廓与中心区高度数据，以满足严格的工艺质量控制标准。解决方案针对客户需求，我们采用LTC1200系列光谱共焦传感器（配套高精度运动平台与测控软件），设计了一套非接触式三维测厚方案：设备选型量程：±600μm（覆盖金属层典型厚度范围）重复精度：0.03μm（静态，确保基准点数据一致性）线性误差：＜±0.3μm（满足亚微米级公差要求）采样频率：10kHz（高速扫描提升检测效率）选用LTC1200B型号传感器（光斑直径约19μm），兼顾测量精度与金属表面反射特性需求，其技术参数如下：搭配亚微米级定位平台，确保扫描路径精确控制。基准点设定以陶瓷基板裸露区域作为基准面，在正反面各设置2个重复测量点，通过传感器实时比对基准高度数据，消除基板翘曲或装夹误差对厚度计算的影响。实施流程数据采集：沿预设路径扫描金属块，同步记录轮廓点云与中心区高度（软件自动拟合最高点作为厚度参考值）。厚度计算：基于公式：\text{金属层厚度} = \text{金...

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