细说光谱共焦传感器相对三角回差原理激光位移传感器的优点
更小的测量盲区:同轴式测量配置, 避免了激光三角传感器的角度限制, 缩小测量盲区,适合复杂细微结构(如深沟槽结构等) 的测量。更高精度的尺寸及位移复现能力。
高灵敏度光学非接触测量:针对光谱共焦位移传感器研制开发的TS-CC物镜能够实现最小10微米的成像光斑, 同时提高测量线性精度。
多膜层/多层玻璃测厚能力:针对光谱共焦位移传感器定制开发的杂散光抑制优化光谱仪以及高亮度彩色光源, 都能够大幅提高传感器的测量灵敏度, 能够对表面返回的极弱的光强(如薄膜等透明物体) 完成测量。
光谱共焦传感器适合各种材料的测量, 并能确保对不同材料的测量性能, 同时支持多膜层/胶合玻璃的多层厚度测量。
不受电噪声干扰的探头:安装于测量现场的探头是纯光学器件, 通过光纤与控制器连接, 因此可以避免现场电磁干扰对测量精度的影响。 探头口径可以设计到Φ10mm以下, 适合并排布置进行多个关键位置的测量。 同时探头可以设计到±60°的测量角度, 满足曲面玻璃的测量。
光谱共焦拥有适用于任何材质的高精度测量能力 :
对不同结构特征的物体实现精确测量 :
1 对透明曲面实现高精度测量 ,如果能接收部分反射光 , 就可以进行高精度的测量。
2 对凹坑、段差实现无死角测量
3 对透明、镜面体也能正确测量 即使透明、 镜面体的测量高度发生变化,也可无位置偏离地测量相同测量点。
超高亮度彩色激光光源
将蓝色激光照射在同时发出红 、 绿光的荧光体上, 生成多色光。 相比普通的白色LED光源, 可在范围更广的波段内实现稳定的高
亮度发光。 在测量量程的任何位置都能确保有充分的光量, 实现高精度测量。
零发热的探头结构设计
传统的激光位移传感器因自身发射而使夹具产生变形 、 光轴偏移等, 容易出现测量误差的问题。 LT-C系列光谱共焦位移传感器探头内部仅有镜头结构设计。 由于没有电子元件, 不发热, 所以不会产生安装探头的夹具变形, 可以实现理想的高精度测量。