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光谱共焦传感器在激光隐切技术（激光隐形切割）晶圆切割中发挥了哪些作用？

2023 - 09 - 25

由于半导体生产工艺的复杂性和精密性，对晶圆切割的技术要求极高，传统的机械切割方式已经无法满足现代电子行业的需求。在这种情况下，光谱共焦位移传感器配合激光隐切技术（激光隐形切割）在晶圆切割中发挥了重要作用。以下将详细介绍这种新型高效切割技术的应用案例及其优势。原理：利用小功率的激光被光谱共焦位移传感器设定的预定路径所导，聚焦在直径只有100多纳米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后根据这个能量将晶圆切割开。光谱共焦位移传感器在切割过程中实时检测切口深度和位置，确保切口的深广和位置的精确性。激光隐切与光谱共焦位移传感器结合的应用案例：以某种先进的半导体制程为例，晶圆经过深刻蚀、清洗、扩散等步骤后，需要进行精确切割。在这个过程中，首先，工程师根据需要的切割图案在软件上设定好切割路径，然后切割机通过光谱共焦位移传感器引导激光按照预定的路径且此过程工程师可以实时观察和测量切口深度和位置。优点：这种技术最大的优势就是它能够实现超微细切割，避免了大功率激光对芯片可能会带来的影响。另外，因为切割的深度和位置可以实时调控，这法也非常具有灵活性。同时，由于使用光谱共焦位移传感器精确控制切割的深度和位置，所以切割出来的晶圆表面平整，质量更好。总的来看，光谱共焦位移传感器配合激光隐切在晶圆切割中的应用，不仅提升了生产效率，减少了废品率，而且大幅度提升了产品质量，对于当前和未来的半导体行业都将是一个革新的技...
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非接触式激光传感器在生产线上的应用有哪些优势？

2024 - 03 - 05

非接触式激光位移传感器在生产线上的应用具有多方面的优势，下面将从精度、速度、可靠性、灵活性和安全性等方面进行逐一分析，并通过具体的应用场景来说明其应用价值。同时，还会与传统的接触式传感器进行比较，以突显非接触式激光位移传感器的独特优势。精度：非接触式激光位移传感器采用激光三角测量法，具有极高的测量精度。例如，在半导体制造过程中，需要精确控制薄膜的厚度，非接触式激光位移传感器可以实现微米级的测量精度，从而确保产品质量。相比之下，传统接触式传感器可能会因为接触力度的不同而影响测量精度。速度：非接触式激光位移传感器具有快速响应的特点，可以在生产线上实现高速测量。例如，在包装机械中，需要实时监测包装材料的位置和速度，非接触式激光位移传感器可以迅速捕捉到这些变化，从而确保包装过程的顺利进行。而传统接触式传感器可能会因为接触摩擦等因素而影响测量速度。可靠性：非接触式激光位移传感器无需与目标物体直接接触，因此可以避免因摩擦、磨损等因素导致的传感器损坏。此外，非接触式传感器还具有较好的抗干扰能力，可以在恶劣的生产环境中稳定工作。相比之下，传统接触式传感器更容易受到环境因素的影响而出现故障。灵活性：非接触式激光位移传感器可以适应不同的测量需求，通过调整激光发射角度、接收透镜焦距等参数，可以实现不同距离、不同角度的测量。此外，非接触式传感器还可以与计算机、PLC等设备进行连接，实现自动化控制和数据处理...
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泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 国产激光位移传感器替代进口基恩士 IL-S025 的技术可行性研究

2025 - 03 - 27

1. 引言在工业自动化领域，激光位移传感器是实现高精度非接触测量的核心器件。基恩士 IL-S025 作为市场主流产品，以其 1μm 重复精度和稳定性能著称。然而，随着国产传感器技术的突破，泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 型号凭借更高的性能参数和经济性，为用户提供了新的选择。本文将从技术参数、性能表现、应用场景等方面，深入对比分析两者的替代可行性。 2. 核心技术参数对比参数基恩士 IL-S025泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W对比结论重复精度1μm0.25μm（LTM3-030）/ 0.25μm（LTM3-030W）LTM3 系列更优（4 倍精度提升）线性误差±0.075% F.S.（±5mm 范围）LTM3-030W 更优（接近 IL-S025）测量范围±5mm（参考距离 25mm）±5mm（参考距离 30mm）等效采样频率3kHz（采样周期 0.33ms）10kHzLTM3 系列更优（3倍速度提升）光斑尺寸25×1200μm（线性光斑）Φ35μm（M3-030）/ Φ35×400μm（M3-030W）LTM3 系列光斑更小（点光斑更聚焦）光源类型660nm 激光（Class 2）655nm 激光（Class 2）等效接口配置需外接放大器单元（支持 EtherNet/IP 等）...
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光谱共焦传感器在IC芯片测量领域的应用剖析（下）

2025 - 01 - 20

五、应用优势深度解析5.1 提升测量精度与效率光谱共焦传感器在 IC 芯片测量中，能够实现快速、高精度的测量，这一特性极大地提升了生产效率。其工作原理基于独特的光学共焦成像和光谱解析技术，使其能够精准地捕捉到芯片表面的细微特征和尺寸变化。在测量芯片关键尺寸时，如线宽和间距，光谱共焦传感器可以达到亚微米级甚至更高的精度，能够精确测量出极其微小的尺寸偏差，为芯片制造工艺的精细控制提供了有力保障。同时，该传感器具备快速的数据采集和处理能力。在实际生产线上，它可以在短时间内对大量芯片进行测量，大大减少了检测时间。与传统测量方法相比，光谱共焦传感器能够实现自动化、连续测量，无需人工频繁干预，有效提高了生产效率，满足了大规模生产对测量速度和精度的双重要求。 5.2 降低成本与风险采用光谱共焦传感器进行 IC 芯片测量，有助于显著降低生产成本与风险。一方面，高精度的测量能够有效减少因尺寸偏差或其他质量问题导致的废品率。在芯片制造过程中，废品的产生不仅意味着原材料的浪费，还会增加后续的返工成本和时间成本。光谱共焦传感器通过精确检测，能够及时发现芯片制造过程中的问题，帮助制造商在早期阶段采取纠正措施，避免生产出大量不合格产品，从而降低了废品率，节约了生产成本。另一方面，通过对芯片制造过程的实时监测和反馈，光谱共焦传感器能够帮助制造商优化生产工艺，提高生产效率，减少不必要的资源浪费。例如，在...
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带您了解激光位移传感器的原理、应用和由来

2023 - 02 - 21

激光位移传感器是一种用于测量距离和轮廓表面的自动光学传感技术。它的工作原理是发射激光束，激光束被目标表面或区域反射，然后光束返回所需的时间被转换为距离测量。它的主要应用是尺寸计量，可以精确测量长度、距离和粗糙度轮廓。激光位移传感器也用于工业自动化、机器人和机器视觉应用。什么是激光位移传感器？激光位移传感器是一种用于测量距离和轮廓表面的自动光学传感技术。该系统通过从激光源发射激光来工作。然后，该激光束从目标表面或区域反射回来。然后，光束覆盖距离和返回所花费的时间被转换为距离测量或轮廓。激光位移传感器通常由三个主要部分组成：*激光源*光学探测器*处理器激光源通常是激光二极管，其波长适合于目标区域及其光学特性。激光二极管产生激光束，该激光束被引导到目标表面或区域上。然后光束被反射回检测器。根据应用，可以用一定范围的脉冲频率调制光束。光束由光学检测器检测。检测器将光转换成电信号，然后将其发送到处理器。然后处理器处理信息并将测量数据发送到数字显示器或计算机。然后，数据可用于进一步分析或控制自动化过程。历史：激光位移传感器最初是在20世纪70年代开发的，是麻省理工学院研究项目的一部分。这项研究由美国陆军研究实验室和美国空军赖特实验室赞助。该技术最...
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深度解析泓川科技HCY系列高速高精光谱共焦传感器性能优势

2025 - 01 - 09

一、光谱共焦传感技术解密光谱共焦技术的起源，要追溯到科学家们对传统成像精度局限的深刻洞察。在 20 世纪 70 年代，传统成像在精密测量领域遭遇瓶颈，为突破这一困境，基于干涉原理的光谱共焦方法应运而生，开启了高精度测量的新篇章。进入 80 年代，科研人员不断改进仪器设计，引入特殊的分光元件，如同给传感器装上了 “精密滤网”，精准分辨不同波长光信号；搭配高灵敏度探测器，将光信号转化为精确数字信息。同时，计算机技术强势助力，实现数据快速处理、动态输出测量结果，让光谱共焦技术稳步走向成熟。90 年代，纳米技术、微电子学蓬勃发展，对测量精度要求愈发苛刻。科研团队迎难而上，开发新算法、模型优化测量，减少误差；增设温度控制、机械振动抑制功能，宛如为传感器打造 “稳定护盾”，确保在复杂实验环境下结果稳定可靠，至此，光谱共焦技术成为精密测量领域的关键力量。添加图片注释，不超过 140 字（可选）二、HCY 光谱共焦传感器工作原理（一）核心原理阐释HCY 光谱共焦传感器的核心在于巧妙运用光学色散现象。当内部的白光点光源发出光线后，光线会迅速射向精密的透镜组。在这里，白光如同被解开了神秘面纱，依据不同波长被精准地色散开来，形成一道绚丽的 “彩虹光带”。这些不同波长的光，各自沿着独特的路径前行，最终聚焦在不同的高度之上，构建起一个精密的测量范围 “标尺”。当光线抵达物体表面，会发生反射，其中特定波长的光...
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如何利用光谱共焦传感器来检测薄膜生产中的薄厚偏差？

2023 - 09 - 25

在高精度的生产工序中，薄膜偏差是一项极为重要的控制指标。由于微观材料结构的敏感性，稍有偏差就可能会导致产品的细微变形，从而引发性能下降、使用寿命缩短等一系列问题。因此，对薄膜偏差的精确检测与实时调控具有至关重要的意义。对于这样的需求，光谱共焦位移传感器便能发挥出它重要的作用。通过实现对薄膜厚度的非接触式实时监视，它可以有效地预防或及时地调整可能发生的偏差，提高生产过程中的精准度和稳定性。原理上，光谱共焦位移传感器利用光源通过物体后的干涉进行测量，借助高精度的光学系统和高灵敏的光电检测设备，最终得出偏差情况。另一方面，光谱共焦位移传感器具有小型化的优势。它采用集成设计，尺寸小巧，可以安装在设备内的有限空间中，且不会影响主机性能。这大大扩展了其使用场景，让即使是较为狭小的环境也能实现精确的监控。总结来说，光谱共焦位移传感器代表着未来高精密度生产领域的主流趋。其不仅具备高精度、快反应、难以受到环境干扰等优点，还由于其小型化、适用于狭窄环境等特性，使其逐渐被更多的高科技领域所接受和采纳。
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激光三角测量法是如何实现对透明物体测量的？折射率校正在这个过程中起到了什么作用？

2024 - 03 - 05

激光三角测量法：精确测量透明物体的科技新突破在精密测量领域，激光三角测量法已成为一种非常重要的技术手段。这种测量方法尤其适用于透明物体的测量，因为它可以有效地解决透明物体测量中的诸多难题。本文将详细介绍激光三角测量法的原理、步骤，以及折射率校正在此过程中所起到的关键作用。一、激光三角测量法的原理激光三角测量法是一种基于光学三角测量原理的非接触式测量方法。其基本原理是：半导体激光器发出的激光束照射在目标物体上，接收器透镜聚集目标物体反射的光线并聚焦到感光元件上。当目标物体与测量设备之间的距离发生改变时，通过接收器透镜的反射光的位置也会相应改变，光线聚焦在感光元件上的部分也会有所不同。通过精确测量这些变化，就可以得出目标物体的位移、形状等参数。二、激光三角测量法的步骤设定参照距离：首先，需要设定一个参照距离，即在此距离下，激光束与感光元件之间的位置关系已知且稳定。照射激光：然后，通过半导体激光器发出激光束，照射在待测的透明物体上。接收反射光：接收器透镜会聚集从透明物体反射回来的光线，并将其聚焦到感光元件上。分析数据：当透明物体移动或形状发生变化时，反射光在感光元件上的位置也会发生变化。通过精确分析这些变化，就可以得出透明物体的位移、形状等参数。三、折射率校正的作用在测量透明物体时，一个关键的问题是需要考虑光的折射现象。由于透明物体的折射率与空气不同，光线在从空气进入透明物体时会发生折射...

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泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 国产激光位移传感器替代进口基恩士 IL-S025 的... 2025 - 03 - 27 1. 引言在工业自动化领域，激光位移传感器是实现高精度非接触测量的核心器件。基恩士 IL-S025 作为市场主流产品，以其 1μm 重复精度和稳定性能著称。然而，随着国产传感器技术的突破，泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W 型号凭借更高的性能参数和经济性，为用户提供了新的选择。本文将从技术参数、性能表现、应用场景等方面，深入对比分析两者的替代可行性。 2. 核心技术参数对比参数基恩士 IL-S025泓川科技 LTM3-030/LTM3-030W对比结论重复精度1μm0.25μm（LTM3-030）/ 0.25μm（LTM3-030W）LTM3 系列更优（4 倍精度提升）线性误差±0.075% F.S.（±5mm 范围）LTM3-030W 更优（接近 IL-S025）测量范围±5mm（参考距离 25mm）±5mm（参考距离 30mm）等效采样频率3kHz（采样周期 0.33ms）10kHzLTM3 系列更优（3倍速度提升）光斑尺寸25×1200μm（线性光斑）Φ35μm（M3-030）/ Φ35×400μm（M3-030W）LTM3 系列光斑更小（点光斑更聚焦）光源类型660nm 激光（Class 2）655nm 激光（Class 2）等效接口配置需外接放大器单元（支持 EtherNet/IP 等）...

泓川科技LTC2600与基恩士CL-P015光谱共焦传感器全方位对比及国产替代 2025 - 03 - 22 一、核心性能参数对比：精度与场景适配性参数泓川科技LTC2600（标准版）泓川LTC2600H（定制版）基恩士CL-P015（标准版）参考距离15 mm15 mm15 mm测量范围±1.3 mm±1.3 mm±1.3 mm光斑直径9/18/144 μm（多模式）支持定制（最小φ5 μm）ø25 μm（单点式）重复精度50 nm50 nm100 nm线性误差±0.49 μm（标准模式）分辨率0.03 μm0.03 μm0.25 μm（理论值）防护等级IP40IP67（定制）IP67耐温范围0°C ~ +50°C-20°C ~ +200°C（定制）0°C ~ +50°C真空支持不支持支持（10^-3 Pa，定制）支持（10^-6 Pa，标准版）重量228 g250 g（高温版）180 g性能深度解析精度碾压：LTC2600的重复精度（50 nm）显著优于CL-P015（100 nm），线性误差（光斑灵活性：LTC2600支持多光斑模式（最小φ5 μm定制），可兼顾微小目标检测与粗糙面稳定性；CL-P015仅提供单点式光斑（ø25 μm），适用场景受限。环境适应性：CL-P015标准版支持超高真空（10^-6 Pa），但C2600通过...

求购激光位移传感器：量程200mm/500mm、采样48kHz、±0.05%线性度？-泓川... 2025 - 03 - 14 泓川科技LTP系列激光位移传感器全面匹配您的技术需求尊敬的客户：感谢您对泓川科技产品的关注！针对您提出的高精度激光位移传感器需求，我司LTP系列产品凭借卓越性能与灵活定制能力，可完全满足您的技术要求，具体对应如下：一、核心参数精准匹配需求项LTP400（200mm）LTP450（500mm）量程200mm（±100mm）500mm（±250mm）线性度±0.03%F.S.（优于要求）±0.05%F.S.（达标）重复精度（静态）±0.03%F.S.±0.05%F.S.采样频率50kHz全量程（达标）50kHz全量程（达标）输出信号-10V～10V（选配模块）-10V～10V（选配模块）技术优势说明：超高采样频率：LTP400/LTP450全量程下支持50kHz采样（48kHz），且可缩短量程至20%时提升至160kHz，满足高速动态测量需求（如振动检测、高速产线）。响应时间最低6.25μs（通过参数表*6可选配置），确保实时数据捕获能力。纳米级标定精度：基于纳米级激光干涉仪标定技术（参数表*3），线性度与重复性指标通过严格验证，确保长期稳定性。多输出模式兼容：支持**-10V～10V模拟输出**（需选配模块）、4～20mA电流输出、RS485及TCP/IP通讯，适配各类工业控制系统。48kHz、±0.05%线性度...

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