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如何利用光谱共焦传感器来检测薄膜生产中的薄厚偏差?

日期: 2023-09-25
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来自 泓川科技
发表于: 2023-09-25
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在高精度的生产工序中,薄膜偏差是一项极为重要的控制指标。由于微观材料结构的敏感性,稍有偏差就可能会导致产品的细微变形,从而引发性能下降、使用寿命缩短等一系列问题。因此,对薄膜偏差的精确检测与实时调控具有至关重要的意义。

如何利用光谱共焦传感器来检测薄膜生产中的薄厚偏差?

对于这样的需求,光谱共焦位移传感器便能发挥出它重要的作用。通过实现对薄膜厚度的非接触式实时监视,它可以有效地预防或及时地调整可能发生的偏差,提高生产过程中的精准度和稳定性。原理上,光谱共焦位移传感器利用光源通过物体后的干涉进行测量,借助高精度的光学系统和高灵敏的光电检测设备,最终得出偏差情况。


另一方面,光谱共焦位移传感器具有小型化的优势。它采用集成设计,尺寸小巧,可以安装在设备内的有限空间中,且不会影响主机性能。这大大扩展了其使用场景,让即使是较为狭小的环境也能实现精确的监控。


总结来说,光谱共焦位移传感器代表着未来高精密度生产领域的主流趋。其不仅具备高精度、快反应、难以受到环境干扰等优点,还由于其小型化、适用于狭窄环境等特性,使其逐渐被更多的高科技领域所接受和采纳。


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