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相位法激光测距传感器原理简述

2023 - 02 - 20

相位法激光测距传感器是一种用于测量距离的传感器，它使用衰减激光来测量距离。激光在一个激光发射器中发出，并由一个接收器接收。激光发射持续一段时间，称为测量时间，根据接收信号的强度和相位推导出一般的相对距离和数据。激光距离传感器的原理有点像各种闪烁的表盘表，只是发射的激光光源更小而且激光传播时间更短，所以更快。传感器通过测量当激光发出后多久接收到信号来测量物体之间的相对位置，也就是距离。由于抛物线和容积衰减，激光越远越弱，为了准确测量距离，必须使用准确的激光，并且随着距离的增加接收性能衰减越多，因此必须调整传感器的接收阈值，以确保可以正确测量所需的距离。当激光被发射出去时，传感器会记录发射的时间，当激光被接收时，传感器记录激光接收的时间。然后，将发射时间和接收时间相减，就可以得到大约的信号传播时间，就可以用它来测量形成到目标物体的距离。然而，如果电路中的任何一部分停顿，传感器就不能正确测量距离，可能会产生一些不准确的测量。因此，为了防止这种情况的发生，许多传感器使用了自适应滤波器，可以有效地滤除由尘埃、碰撞或干扰引起的杂散信号，从而确保测量准确。相位法激光测距传感器具有较低...
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利用高速高精度激光位移传感器测量低频物体振动以降低使用成本

2023 - 08 - 21

摘要：本报告提出了一种利用高精度激光位移传感器测量物体振动的方案。通过测量被测物的位移量，并确定振动的时间点，可以计算出振动频率和振动模式。相比多普勒测振仪，激光位移传感器具有更低的成本，在低频范围内（1000Hz以下）可以进行振动测量。本方案详细介绍了方案设计、设备选择、实验验证以及成本核算，并通过实验数据和算法验证了方案的可行性和准确性。引言物体振动是许多领域的重要研究对象，包括机械、汽车、航空航天等。传统的多普勒测振仪可以用于高频振动测量，但其成本较高，对于低频振动测量（1000Hz以下）不适用。因此，本方案提出了一种利用高精度激光位移传感器测量物体振动的方案，以满足低频振动测量的需求。方案设计利用高精度激光位移传感器测量物体振动的方案设计如下：2.1 设备选择选择一台高精度激光位移传感器，具备以下特点：高测量精度：具备亚微米级的测量精度，满足振动测量的要求。高响应频率：能够以高速响应的方式进行位移测量，捕捉到物体振动的细微变化。宽测量范围：具备较大的测量范围，适应不同物体振动的需求。2.2 传感器布置与测量原理将激光位移传感器布置在被测物体附近，并对其进行校准和调试。在物体振动过程中，传感器测量物体的位移量。传感器工作原理基于激光光束照射到物体表面，测量光斑的位置随时间的变化，从而获得物体的位移信息。2.3 数据处理与振动频率计算根据传感器测得的位移量数据，通过数据处理和信...
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运用高精度激光位移传感器进行非接触测量工件倾斜度的应用与实践

2024 - 01 - 21

在制造业、航空航天、光学制造等行业中，准确地测量工件表面的平整度和倾斜度对于产品质量、设备性能和工程安全至关重要。为了适应这一需求，本文将详细介绍运用高精度激光位移传感器进行非接触测量工件倾斜度的具体操作步骤、应用领域以及如何通过实例演示其测量原理和效果。首先，测量设备的配置环节。需要准备3到5个高精度激光位移传感器，并配合用于数据分析处理的微机软件。在开始测量之前，传感器需要先行进行标定，以一个已知的标准平面作为参照进行校准，并让所有传感器的数值归零。这一步骤保证了测量过程的准确性，也为后续的数据分析奠定了基础。进行实测时，将待测工件放置在需要测量的表面上。根据物体表面的倾斜情况，每个传感器所显示的数值会出现差距。后续，我们可以通过微机软件读取这些二次数据，进行处理，从而精确地得出倾斜度和平整度等参数。值得注意的是，我们选择3-5个传感器进行测量的原因是，三个传感器可以保证确定一个平面的最少需求。在成本允许的情况下，增加到五个传感器进行多点测量，可以有效提高测量的准确性和稳定性。另外，在使用过程中，对传感器的同步性有很高的要求，尤其是采样速度。最好达到5k以上，以便实时调整待测表面，使得调整结果更精准，并且满足实时性的需求。当然，高精度激光位移传感器的应用领域非常广泛。在制造业，尤其是汽车制造业和机械加工行业中，通过测量工件表面的倾斜度和平整度，可以有效进行质量控制和生产过程优化...
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带您了解激光位移传感器的原理、应用和由来

2023 - 02 - 21

激光位移传感器是一种用于测量距离和轮廓表面的自动光学传感技术。它的工作原理是发射激光束，激光束被目标表面或区域反射，然后光束返回所需的时间被转换为距离测量。它的主要应用是尺寸计量，可以精确测量长度、距离和粗糙度轮廓。激光位移传感器也用于工业自动化、机器人和机器视觉应用。什么是激光位移传感器？激光位移传感器是一种用于测量距离和轮廓表面的自动光学传感技术。该系统通过从激光源发射激光来工作。然后，该激光束从目标表面或区域反射回来。然后，光束覆盖距离和返回所花费的时间被转换为距离测量或轮廓。激光位移传感器通常由三个主要部分组成：*激光源*光学探测器*处理器激光源通常是激光二极管，其波长适合于目标区域及其光学特性。激光二极管产生激光束，该激光束被引导到目标表面或区域上。然后光束被反射回检测器。根据应用，可以用一定范围的脉冲频率调制光束。光束由光学检测器检测。检测器将光转换成电信号，然后将其发送到处理器。然后处理器处理信息并将测量数据发送到数字显示器或计算机。然后，数据可用于进一步分析或控制自动化过程。历史：激光位移传感器最初是在20世纪70年代开发的，是麻省理工学院研究项目的一部分。这项研究由美国陆军研究实验室和美国空军赖特实验室赞助。该技术最...
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详解激光三角位移传感器的原理及市场应用

2023 - 09 - 16

大家好，今天给大家详细说明下目前我们市面上用的激光位移传感器内部构造及详细原理、应用、市场种类、及未来发展，我在网上搜索了很多资料，发现各大平台或者厂商提供的信息大多千篇一律或者式只言片语，要么是之说出大概原理，要买只讲出产品应用，对于真正想了解激光位移传感器三角回差原理的朋友们来说总是没有用办法说透，我今天花点时间整理了各大平台的大牛们的解释，再结合自己对产品这么多年来的认识，整理出以下这篇文章，希望能给想要了解这种原理的小伙伴一点帮助！好了废话不多说我们直接上干货首先我们要说明市面上的激光测量位移或者距离的原理有很多，比如最常用的激光三角原理，TOF时间飞行原理，光谱共焦原理和相位干涉原理，我们今天给大家详细介绍的是激光三角测量法和激光回波分析法，激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量，而激光回波分析法则用于远距离测量，下面分别介绍激光三角测量原理和激光回波分析原理。让我们给大家分享一个激光位移传感器原理图，一般激光位移传感器采用的基本原理是光学三角法：半导体激光器：半导体激光器①被镜片②聚焦到被测物体⑥。反射光被镜片③收集，投射到CMOS阵列④上；信号处理器⑤通过三角函数计算阵列④上的光点位置得到距物体的距离。一、激光位移传感器原理之激光三角测量法原理1．激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面，经物体反射的激光通过接收器镜头，被内部的CCD线性相机接收，根据...
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白光干涉测厚传感器在晶圆水膜厚度测量中的应用及操作步骤详解

2024 - 01 - 21

白光干涉测厚仪是一种非接触式测量设备，广泛应用于测量晶圆上液体薄膜的厚度。其原理基于分光干涉原理，通过利用反射光的光程差来测量被测物的厚度。白光干涉测厚仪工作原理是将宽谱光（白光）投射到待测薄膜表面上，并分析返回光的光谱。被测物的上下表面各形成一个反射，两个反射面之间的光程差会导致不同波长（颜色）的光互相增强或者抵消。通过详细分析返回光的光谱，可以得到被测物的厚度信息。白光干涉测厚仪在晶圆水膜厚度测量中具有以下优势：1. 测量范围广：能够测量几微米到1mm左右范围的厚度。2. 小光斑和高速测量：采用SLD（Superluminescent Diode）作为光源，具有小光斑和高速测量的特点，能够实现快速准确的测量。下面是使用白光干涉测厚仪测量晶圆上水膜厚度的详细步骤：1. 准备工作：确保待测晶圆样品表面清洁平整，无杂质和气泡。2. 参数设置：调整白光干测厚涉仪到合适的工作模式，并确定合适的测量参数和光学系统设置。根据具体要求选择光谱范围、采集速度等参数。3. 样品放置：将待测晶圆放置在白光干涉测厚仪的测量台上，并固定好位置，使其与光学系统保持稳定的接触。确保样品与测量台平行，并避免外界干扰因素。4. 启动测量：启动白光干涉测厚仪，开始测量水膜厚度。通过记录和分析返回光的光谱，可以得到晶圆上水膜的厚度信息。可以通过软件实时显示和记录数据。5. 连续监测：对于需要连续监测晶圆上水膜厚度变...
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新型安全激光扫描仪的优点特性介绍

2023 - 02 - 26

今天我为大家展示安全激光扫描仪产品，安全激光扫描仪适用于各种应用技术领域，在设备开发期间我们给予了特别关注，以确保它能够在广泛应用中发挥最佳功能，尤其重视大型工作区域的防护，例如机床正面区域或机器人工作区域。其他应用包括移动车辆的防护，例如侧向滑动装置或移动运输设备，无人驾驶运输系统。甚至垂直安装激光扫描仪的出入口保护系统。尽管我们在安全激光扫描与领域，已经有数10年的经验了，但该应用领域仍然面对许多挑战。不过我们的激光安全扫描仪具有独一无二的功能属性，例如具有8.25米检测距离和270度扫描范围。属于目前市场上的高端设备，非常适合侧向滑动装置正面区域等大型区域或长距离的防护。该设备的另一个亮点就是能够同时监测两个保护功能。这在许多应用领域中，独具优势以前需要使用两个设备，如今只需要使用一台这样的安全激光扫描仪，即可完成两台设备的功能。实践中遇到的一项挑战是设计一款异常强骨的激光安全扫描仪。能够适应周围环境中可能存在的灰尘和颗粒等恶劣条件，因此我们提供了较分辨率达到0.1度的设备。它在目前市场上具有非常高的价值。 ...
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光谱共焦传感器在激光隐切技术（激光隐形切割）晶圆切割中发挥了哪些作用？

2023 - 09 - 25

由于半导体生产工艺的复杂性和精密性，对晶圆切割的技术要求极高，传统的机械切割方式已经无法满足现代电子行业的需求。在这种情况下，光谱共焦位移传感器配合激光隐切技术（激光隐形切割）在晶圆切割中发挥了重要作用。以下将详细介绍这种新型高效切割技术的应用案例及其优势。原理：利用小功率的激光被光谱共焦位移传感器设定的预定路径所导，聚焦在直径只有100多纳米的光斑上，形成巨大的局部能量，然后根据这个能量将晶圆切割开。光谱共焦位移传感器在切割过程中实时检测切口深度和位置，确保切口的深广和位置的精确性。激光隐切与光谱共焦位移传感器结合的应用案例：以某种先进的半导体制程为例，晶圆经过深刻蚀、清洗、扩散等步骤后，需要进行精确切割。在这个过程中，首先，工程师根据需要的切割图案在软件上设定好切割路径，然后切割机通过光谱共焦位移传感器引导激光按照预定的路径且此过程工程师可以实时观察和测量切口深度和位置。优点：这种技术最大的优势就是它能够实现超微细切割，避免了大功率激光对芯片可能会带来的影响。另外，因为切割的深度和位置可以实时调控，这法也非常具有灵活性。同时，由于使用光谱共焦位移传感器精确控制切割的深度和位置，所以切割出来的晶圆表面平整，质量更好。总的来看，光谱共焦位移传感器配合激光隐切在晶圆切割中的应用，不仅提升了生产效率，减少了废品率，而且大幅度提升了产品质量，对于当前和未来的半导体行业都将是一个革新的技...

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汽车发动机缸孔内壁瑕疵检测报告--激光光纤内孔内管孔壁测量仪 2024 - 11 - 24 样品检查报告书添加图片注释，不超过 140 字（可选）□ 全部可检出 □ 全部可检出（存在过度判定） ■ 部分可检出（6个孔中有2个可检出） □ 不可检出 □ 需要追加检查检查结果】由于未收到客户对于本次检查对象孔洞的判定结果，我们已通过⽬视确认将可⻅的划痕作为缺陷进⾏了检测。在6个被检孔洞中，有2个孔洞通过⽬视检测到了可⻅的划痕。剩余的4个孔洞，⽆论是通过⽬视还是数据分析，均未发现划痕或其他缺陷，因此未检出。（请参考第5⻚及之后的成像数据）【制造商意⻅】请客户也确认本次检测出的缺陷部位是否符合缺陷规格，即这些是否确实为应检出的缺陷。另外，在检测出缺陷的第②和第⑤个⼯作件中，还存在对⾮缺陷部位的误检。如果是在清洗前的状态下进⾏检查，由于污垢的附着，可能会导致难以捕捉到真正的缺陷部位，或者像本次⼀样，将污垢误判为缺陷。因此，如果考虑引⼊系统进⾏检测，请考虑将其安排在清洗后的⼯序中进⾏。此外，关于④A和④B两个孔洞，由于本次提供了切割⼯作件作为样本，因此能够进⾏拍摄。但在正规产品中，可能会因为探头⽀架等部件的接触⽽⽆法进⾏全⻓度的检查。考虑到实际的检查环境，我们认为有必要评估在产品状态下进⾏检查的可⾏性。（详情请参阅第3⻚）【后续推进⽅案】基于本次结果，如果您考虑引⼊内孔瑕疵检测系统，我们⾸先建议在图纸上评估④A和④B部位在产品状态下是否可以进⾏检查，并随后进⾏n次追加验证（有偿）。在...

突破精度极限：LTC100光谱共焦位移传感器——国产高精度测量的新标杆30nm精度 2024 - 11 - 20 在当今精密制造与检测领域，对微小尺寸变化的精确测量需求日益增长。特别是在半导体制造、微纳加工、光学元件检测等高端应用中，对测量误差的严格要求往往达到纳米级。面对这一挑战，国内自主研发的LTC100光谱共焦位移传感器以其卓越的性能脱颖而出，不仅实现了30nm以下的测量误差，还保证了光斑直径小于2μm，为高精度测量领域树立了新的国产标杆。技术亮点：超高精度测量：LTC100采用先进的光谱共焦技术，通过精确控制光源发射的多波长光束与被测物体表面反射光之间的干涉现象，实现位移的高精度测量。其核心算法通过复杂的光谱分析与相位解调技术，有效消除了环境干扰和系统误差，确保测量误差稳定控制在30nm以下。微小光斑设计：传感器内置的精密光学系统采用高数值孔径物镜，结合优化的光束整形技术，实现了小于2μm的光斑直径，使得在微小结构或特征上的测量成为可能，显著提高了测量的空间分辨率。测试数据与算法公式：LTC100的性能验证基于严格的实验室测试与现场应用反馈。以下为其关键测试数据：线性度：在0-10mm测量范围内，线性偏差小于±5nm，确保测量的稳定性和可靠性。重复性：连续测量同一位置100次，标准差小于10nm，证明其高重复性和一致性。分辨率：理论上可达0.1nm，实际测量中受环境因素影响，但依旧保持在1nm左右，远超行业平均水平。核心算法公式简述如下：d=2λ0⋅2πΔϕ其中，d为被测位移...

在测量被透明物体覆盖的目标时，环境照明补偿和透视测量是如何帮助提高测量准确性的？ 2024 - 03 - 05 在测量被透明物体覆盖的目标时，环境照明补偿和透视测量是提高测量准确性的重要手段。这些技术的应用，在智能手机等电子设备的制造过程中，具有至关重要的作用。首先，让我们来探讨一下环境照明补偿的作用。在生产线环境中，照明条件往往并不稳定，这会对测量精度产生严重影响。环境照明补偿技术通过自动调整传感器参数，以补偿外部光照条件的变化，使得测量系统能在不同的照明条件下都能保持稳定的测量性能。这就使得我们在测量被透明物体（如手机屏幕）覆盖的目标时，能够得到更为准确的结果。其次，透视测量技术则能够解决透明物体对测量造成的干扰。由于透明物体会让部分光线穿过，使得传统的测量技术难以准确捕捉目标的位置和形状。而透视测量技术则能够通过特殊的光学设计和算法处理，使得传感器能够“看透”透明物体，直接对其背后的目标进行测量。这样，我们就可以在不接触目标的情况下，对其进行准确的测量。在智能手机等电子设备的制造过程中，这两种技术都有着广泛的应用。例如，在手机屏幕的生产过程中，环境照明补偿技术可以帮助我们确保屏幕在各种光线条件下都能显示清晰。而透视测量技术则可以用于测量手机屏幕下的各种元器件，如触摸屏、摄像头等，确保它们的位置和尺寸都符合设计要求。此外，这两种技术还可以结合使用，以提高测量的精度和效率。例如，我们可以先使用透视测量技术确定目标的位置，然后使用环境照明补偿技术对其进行精确测量。这样，我们不仅可以得到更准确...

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