今天我们利用线光谱共焦传感器来对陶瓷基板的沟槽进行扫描测量，首先我们介绍下光谱感觉传感器的工作原理。光谱共焦测量通过使用特殊透镜，延长不同颜色光的焦点光晕范围，形成特殊放大色差，使其根据不同的被测物体到透镜的距离，会对应一个精确波长 的光聚焦到被测物体上。通过测量反射光的波长，就可以得到被测物体到透镜的精确距离。
反射光的光强不会影响测量结果。这意味着，无论有多少反射光从被测物体反射回来，测量的距离结果可能是不变的。因为反射光的光强仅仅取决于反 射物体的反光程度。因此，采用的3D线光谱共焦传感器，即使被测物体是强吸光材料，如黑色橡胶；或者是透明材料，如玻璃或者液体，都可以进 行 正常可靠的测量。
根据客户提供的测试需求， 利用我们的线光谱共焦传感器 对陶瓷基板的凹槽进行扫描，通过灰度显示的ROI数据及3D点云测量凹槽深度以及宽度。
扫描取样
陶瓷基板样品经扫描后凹槽处各个位置的深度宽度信息都能很好的在3D点云图上面呈现出来，通过灰度图与点云测量相结合能把需求测量范围的深度宽度信息很好的测量出来。