开放型激光尺
适用多样测试距离需求,同时实现高精度的线性位移测量,
无需其他任何机械传动件。典型应用包括:
/半导体工业测量和生产设备
/直线电机模组
/高精度三位坐标仪
/精密仪器定位
机械结构
开放型激光尺包含两个部分:光电模块和聚焦式反射镜。
光电模块配合准直调节板安装在固定基座,聚焦式反射镜通过联接件与导轨滑座连接。
为达到高精度的测量需求,必须确保有效测量行程内,出光轴与运动轴平行,减少误差。
热特性
外界环境变化对激光尺的影响不可避免,为了在不同环境下都能保证测量精度,
激光尺配备环境补偿单元,该补偿单元可以将气压、温度、湿度变化带来
的影响降低到允许的范围以内。