更小的测量盲区
更高精度的尺寸及位移复现能力
高灵敏度光学非接触测量
多膜层/多层玻璃测厚能力
同轴式测量配置,避免了激光三角传感器的角度限制,缩小测量盲区,
适合复杂细微结构(如深沟槽结构等)的测量。
针对光谱共焦位移传感器研制开发的HC-CC物镜采用近十片镜片,能
够实现最小10微米的成像光斑,同时提高测量线性精度。
针对光谱共焦位移传感器定制开发的杂散光抑制优化光谱仪以及高亮
度彩色激光光源,都能够大幅提高传感器的测量灵敏度,能够对表面
返回的极弱的光强(如薄膜等透明物体)完成测量。
光谱共焦传感器适合各种材料的测量,并能确保对不同材料的测量性
能,同时支持多膜层/胶合玻璃的多层厚度测量。
抗干扰模块化探头
安装于测量现场的探头是纯光学器件,通过光纤与控制器连接,因此
可以避免现场电磁干扰对测量精度的影响。探头口径可以设计到
Φ10mm以下,适合并排布置进行多个关键位置的测量。同时探头可以
设计到±60°的测量角度,满足曲面玻璃的测量