一款结合激光测振传感器和数字显微镜的一体化测量系统,
可广泛使用在微结构的振动特性测量领域中,如显微材料测试、半导体领域测试和微机电测试。
产品优势:
• 影像指示测量位置
• 光学变焦、数字变焦,最大放大倍数450倍
• 1310nm 测量光+ 655nm 红光指示
• 测量光斑大小 <100um
• X/Y/Z 三维调节能力
• 振动检测分辨率 ≤1nm
• DC~2.5MHz 测量范围
• 支持同步触发测量
• 最大振动量测量能力 20m/s
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