产品名称：
光谱干涉_白光干涉_膜厚测量_纳米膜厚测量 白光干涉测厚传感器LT-ITS系列
上市日期：
2023-02-10
光谱干涉测量传感器基于薄膜干涉原理，薄膜可以是透明固体、液体或由两块玻璃所夹的气体薄层。入射光经薄膜上表面反射后得第一束光，折射光经薄膜下表面反射，又经上表面折射后得第二束光，这两束光在薄膜的同侧，由同一入射光振动分出，是相干光，属分振幅干涉。当由一组波长组成的白光入射到薄膜上时，某些波长的光被增强，而某些波长的光则被减弱。通过对混合的两个波前产生的光干涉条纹进行光谱分光，测算干涉信号的频率光谱，计算解析出被测样品的厚度（或层间隙）。